CMP 抛光液中试装置是在大规模生产之前，用于对 CMP 抛光液进行中间规模试验和优化的重要设备。
主要组成部分：
反应釜：作为主要的反应容器，具备良好的搅拌和温控功能。
原料添加系统：包括精确计量的泵和管道，确保各种原料按预定比例准确添加。
搅拌系统：保证原料充分混合均匀，促进化学反应的进行。
温度和压力控制系统：能够精确调节反应条件，满足不同试验需求。
过滤系统：用于去除杂质和大颗粒物质，提高抛光液的纯度。
检测分析设备：如粒度分析仪、pH 计、粘度计等，实时监测抛光液的性能参数。
工作原理：
首先，通过原料添加系统将所需的原材料按照设定的配方和顺序加入反应釜中。搅拌系统启动，使物料充分混合。在反应过程中，温度和压力控制系统根据预设的条件进行精确调控。反应完成后，经过过滤系统处理，得到初步的抛光液产品。最后，使用检测分析设备对产品进行各项性能指标的检测和分析。
优点：
降低风险：在大规模生产前进行试验，减少大规模生产中的失误和损失。
优化工艺：通过中试可以对工艺参数进行调整和优化，提高产品质量和生产效率。
验证可行性：验证新配方、新工艺在实际生产中的可行性和稳定性。
