CMP 抛光液工艺装置是用于生产和优化 CMP 抛光液的关键设备。
主要构成组件：
混合容器：用于容纳和初步混合各种原料。
搅拌系统：通常由高性能的搅拌桨和驱动电机组成，确保原料充分均匀混合。
加热与冷却系统：精准控制反应温度，以满足不同工艺步骤的需求。
过滤装置：采用精细的过滤介质，去除可能存在的杂质和颗粒，保证抛光液的纯净度。
计量与进料系统：包括高精度的计量泵和进料管道，能精确控制各种原料的添加量和添加速度。
在线监测系统：配备各类传感器，如 pH 传感器、粘度传感器、粒度传感器等，实时监测抛光液的关键参数。
工作流程：
首先，通过计量与进料系统将预定比例的原料加入混合容器中。搅拌系统启动，使原料充分混合。根据工艺要求，加热与冷却系统调节反应温度。在反应过程中，在线监测系统实时反馈抛光液的参数，以便及时调整工艺条件。反应完成后，经过过滤装置过滤，得到符合要求的 CMP 抛光液。
优点：
提高产品质量：精确控制工艺参数，确保抛光液的性能稳定和优质。
增强生产灵活性：能够快速调整工艺以适应不同的产品需求。
保障生产安全：通过在线监测和自动控制，减少人为操作失误带来的安全风险。
