产品型号

MQ-KM1

MQ-KM2

MQ-KM3

真空室尺寸

φ1000×1000mm

φ2000×2000mm

φ3000×3000mm

真空度

≤5×10-5Pa

工作真空度

≤1.0×10-3Pa

制冷方式

载冷剂方式

复合工质方式

液氮制冷方式

热沉+冷板

热沉+加热笼

液氮热沉+加热笼

温度范围

-75℃～+130℃

-110℃～+150℃

-173℃～+170℃

温度稳定性

≤1℃/h

≤1℃/h

≤1℃/h

温度均匀度

≤±2.0℃

≤±3.0℃

≤±5.0℃

控温精度

±1℃

±1℃

±1℃

升降温速率

≥1℃/Min

真空系统漏率

＜5×10-9 Pa.m3/s

噪音

真空抽气设备噪音＜70dB

抽真空时间

常温空载情况下能够在4小时内将容器抽至优于1.0×10-3Pa

温度检测系统

系统采用多路Pt100温度巡检表测量多点温度

控制监测系统

主要包括工业控制计算机、控制机柜、PLC、仪表、各种操作控制开关等

控制器

西门子可编程控制器、通讯模块、通讯电缆

电源电压

380±10％ VAC，3L+N+G

标准配置

样品拖架1套、操作手册1份

装置

相序保护、漏电保护、可靠接地、紧急断电按钮、过压、过流、超温报警和保护控制

环境要求

环境温度：5～35℃，相对湿度：≤40%RH，无强烈震动、电磁辐射，周围无粉尘及腐蚀性物质；

说明：1、性能参数均在环境温度为25℃，真空室空载测试；

2、可根据用户的具体要求非标定做；

1. 本技术信息，如有变动恕不另行通知。