ST-21H型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准,专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器,可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。 |
该仪器以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。 |
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◆ 特点: |
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1 | 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定,低功耗; | 2 | 以大屏幕LCD显示读数,直观清晰; | 3 | 采用单个电池供电,带电池欠压指示; | 4 | 体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g; | 5 | 特制之手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜 | 6 | 探头带抗静电模块 |
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◆ 技术指标: |
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测量范围 | 按方块电阻量值大小分为二个量程档: 1.方块电阻 1.0~1999.9Ω/□; 2.方块电阻 10~19999Ω/□; 小分辨率:0.1Ω/□; | 恒流源 | 测量过程误差:≤±0.8% | 模数转换器 | 量程:0~199.99mv; 分辨率:10μv; 方式:LCD大屏幕显示;极性,超量程均自动显示;小数点同步显示; | 测量不确定度 | 在整个量程范围内,测量不确定度≤5% | 四探针探头规格 | 间距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ | 电源 | 9V叠层电池1节 |
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◆ ST-21H方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格: |
型号 (Model) | 曲率半径 (Radius) | 压力 (loads) | 探针间距 (spacing) | 探针排列 (Arrangement) | HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直线 | HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直线 | HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直线 | HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直线 |
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◆ ST-21H方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格: |
型号 (Model) | 曲率半径 (Radius) | 压力 (loads) | 探针间距 (spacing) | 探针排列 (Arrangement) | SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
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