| ST-21L型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。 |
| 该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。 |
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| ◆ 特点： |
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1 | 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗； | 2 | 以大屏幕LCD显示读数，直观清晰； | 3 | 采用单个电池供电，带电池欠压指示； | 4 | 体积≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g； | 5 | 特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜 | 6 | 探头带抗静电模块 |
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| ◆ 技术指标： |
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测量范围 | 按方块电阻量值大小分为二个量程档：
1.方块电阻 1.000～19.999Ω/□；
2.方块电阻 10.00～199.99Ω/□；
小分辨率：0.001Ω/□ | 恒流源 | 测量过程误差：≤±0.8% | 模数转换器 | 量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示； | 测量不确定度 | 在整个量程范围内，测量不确定度≤5% | 四探针探头规格 | 间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ | 电源 | 使用一节450mAH的锂电池 |
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| ◆ ST-21L方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格： |
型号
(Model) | 曲率半径
(Radius) | 压力
(loads) | 探针间距
(spacing) | 探针排列
(Arrangement) | HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直线 | HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直线 | HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直线 | HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直线 |
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| ◆ ST-21L方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格： |
型号
(Model) | 曲率半径
(Radius) | 压力
(loads) | 探针间距
(spacing) | 探针排列
(Arrangement) | SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
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