高分辨率台式扫描电镜的工作原理基于物理光学的成像原理。从电子枪中发射出的电子经过一系列电磁透镜被聚焦成极细的电子束，这个电子束在的电磁透镜上方的双偏转线圈的驱动下，在样品表面进行栅网状扫描。
 

　　当电子束打在样品上时，会产生各种信号电子，包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透过电子、特征X射线等。这些信号电子被相应的探测器接收，并被转换成电信号，然后通过电信号处理器进行处理，形成图像。
 

　　二次电子主要来自样品表面5-10纳米的区域，能量较低，通常用于反映样品表面的形貌；背散射电子来自样品较深处，能量较高，反映的是原子序数的信息，通常用于反映样品的化学成分。
 

　　高分辨率台式扫描电镜的维护保养方法：
 

　　1.密封圈的清洁与润滑
 

　　-定期清洁：每隔三个月使用无尘布蘸取少量酒精轻轻擦拭密封圈，直至无尘布上无黑色污渍为止。
 

　　-涂覆硅脂：清洁后，在密封圈上均匀涂覆一层薄薄的高真空硅脂，以保持其良好的密封性能。
 

　　2.灯丝的维护与更换
 

　　-观察饱和程度：经常观察灯丝的饱和程度，当发现灯丝电流不在饱和状态时，适当手动调整灯丝电流，使灯丝处于饱和状态。
 

　　-半自动调整：选择半自动调整电子枪，避免全自动调整时灯丝电流过大，消耗灯丝，影响寿命。
 

　　3.环境条件的控制
 

　　-温度与湿度：实验室环境温度应长期维持在20~24°C之间，湿度保持在50%以下。
 

　　-室内清洁：保持室内清洁卫生，严禁在室内喝水、饮食，以避免污染和损害设备。
 

　　4.日常检查与维护
 

　　-检查隔夜真空：每日开机时，检查系统的隔夜真空情况，隔夜真空值以保持在150Pa以内为佳。
 

　　-样品腔室密封：一旦隔夜真空值超过250Pa，需要立即检查样品腔室是否存在密封问题。
 

　　5.电子枪和镜筒的维护
 

　　-防尘措施：在更换灯丝或清洗光阑时，使用无尘布遮档好镜筒和电子枪敞口区域，防止粉尘落入。
 

　　-保持高真空度：随时注意镜筒是否存在微小泄露，并保证各级泵的性能，必要时更换泵油。
 

　　6.样品的准备
 

　　-样品干燥：待观察样品应尽量干燥、无挥发性物质，以避免影响镜筒的真空度和腐蚀灯丝。