如之前【飞纳电镜：从飞利浦到赛默飞，是最“老”的电镜，也是最“新”的电镜（上篇）】的介绍，飞纳电镜继承荷兰飞利浦和 FEI 三仓分离和逐级抽真空设计，可以实现 15 秒抽真空 30 秒成像，这是目前业界高效率的台式扫描电镜，可谓是扫描电镜中的“闪电侠”。

不同类型扫描电镜操作所用时长对比图

通过不同电镜操作用时对比图可知，一方面是抽真空耗时，传统电镜因为通仓的设计，载样抽真空过程需要很长时间，至少 3 分钟的样子。随着设备真正服役，真空系统复杂加之维护不到位，这个等待时间只会越来越久。另一方面 SEM 成像耗时，传统电镜操作界面复杂不说，自动化智能功能严重不足，很依赖于操作人员的熟练程度，一个小时往往能拍好 3 个样品都算快的。

就传统电镜抽真空耗时久这一痛点，飞纳电镜是如何实现抽真空和成像如此之快呢？

PART1. 三仓分离真空设计

飞纳电镜从一开始就抛弃传统的通仓设计，别出心裁把灯丝仓，光路仓和样品仓“隔离”设计，灯丝仓和光路仓通过压差光阑隔离，光路仓和样品仓通过“真空锁”设计隔离，涡轮分子泵分别对三仓室梯度抽真空，这样切换样品只破坏样品仓真空，整个换样过程几乎不会引起灯丝仓的真空变化，从而保证灯丝仓真空环境一直稳定在 10-5Pa，这也是保证晶体灯丝长寿命的前提条件。

PART2. 样品仓设计

传统电镜样品仓大开门或者抽屉式设计，不但会造成抽真空缓慢，而且样品仓内各种探测器都暴露在空气中，样品高度要调整，这些都需要警惕否则都会带来巨大损失。而飞纳电镜真空锁不单锁住光路仓，还包括各种探测器，进样之前样品高度做了限高防呆设计，不存在任何误操作得风险，大家可以安心使用。

PART3. 自动进样设计

飞纳电镜继承荷兰飞利浦和 FEI 进样逐级抽真空设计，一键转移到 SEM，边进样边抽真空。在样品仓到达预定真空度前，光路仓可实现真空保持，而后自动加高压，自动调焦和自动调节亮度对比度（B/C）成像，整个过程一气呵诚，无需人工干预，从进样到清晰成像，1min 之内就可以自动完成。

飞纳电镜的真空系统设计、操作系统和硬件整合都是目前主流市场上做得非常好的，正是由于飞纳电镜诸多匠心设计，才成为目前市面上高效的扫描电镜，也收获了各种奖项！

2015  今日显微镜学创新奖

飞纳荧光扫描电镜一体机 Delphi 被授予 2015 今日显微学创新奖，表彰其整合光电关联技术的创新。

2009 德国设计大奖

由德国设计学会颁发的德国设计大奖是世界设计界的最高奖项之一，其以提名标准的严格而闻名，被誉为“桂冠中的桂冠”。

2008 GIO 工业设计奖

GIO 工业设计奖是荷兰的设计类奖项，用以表彰专业的设计技术。Phenom 飞纳在 2008 年获此殊荣，证明了其设计水平。

2008 创新技术奖

荷兰 Het Instrument 展览会期间，Phenom 飞纳荣获实验室器材领域中的创新技术奖，再次证明了其设计理念。

2008 PTB-年度最佳产品

美国 Phonics Tech Briefs (PTB) 杂志授予 Phenom 飞纳年度最佳产品。

2007 美国商务部杰出创新奖 

美国商务部技术管理局决定授予 Phenom 飞纳杰出创新奖，以表彰其“带来的全新视野，促进了科学、技术、工程等领域中的教学与研究。

2007 红点设计奖

红点设计奖拥有 50 多年的悠久历史，被誉为设计界中的奥斯卡，最大最尊贵的设计奖项。

 2006 荷兰机电学大奖

因其“在机械电子领域中，合作研发与制造能力”荣获荷兰机电学大奖。

如果你还在为：

切换样品需要频繁抽真空而苦恼

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自动调焦总是不尽如人意而苦恼

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