碳纳米管生长专用设备

石墨烯生长专用设备

卷对卷

管式炉

磁力拉杆管式炉 管式摇摆炉 高温立式管式炉 真空气氛管式炉 化学气相沉积 快速升温炉 等离子体增强

箱式炉

下装载炉 真空气氛箱式炉 1800℃系列箱式炉 1700℃系列箱式炉 1600℃系列箱式炉 1400℃系列箱式炉 1200℃以下系列箱式炉

CVD系统

回转CVD设备 负极材料烧结设备 二维材料制备 碳纳米管

PECVD系统

智能型 简易版 回转型

真空系统

高真空系统 低真空系统 真空系统配件

供气系统

升华仪

坩埚炉

等离子清洗机

其他配套设备

真空手套箱

热压炉

多通道集成设备

退火炉