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此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于新能源材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，硅纳米管，纳米线，等研究领域。由于在工作过程中，气体的压缩是等温的，所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时，不易发生危险，因此其应用更加广泛。
爱德华真空泵组
干湿 | *无油的干式真空泵组 |
分子泵抽速 | 61L/s |
前级泵抽速 | 1.2㎥/h |
极限总压 | 10-8mabr |
启动时间 | 1.5min |
进气口 | DN63 ISO-K |
冷却方式 | 空冷 |
电压 | 单向，220V |
重量 | 14.5Kg |
功率 | 300W |
