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供气系统的主要特点：该（1路质子 2路浮子）是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 本配比器适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观，实用，操作简便。流量显示准确，可有效地控制气体消耗量。所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。此款设备与BEQ品牌的各款真空管式炉和真空机组组成CVD系统。
供气系统的技术参数
产品型号 | GMF-1Z-2F | |
浮子流量计 | 10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min （浮子流量计的量程可根据用户需要选订） | |
质量流量控制器 | 工作电压： | 185~245V 50HZ |
最大输出功率： | 18W | |
流量计标准量程： | 100sccm 、200sccm 、500sccm （非特殊以氮气标定，量程可选） | |
工作温度： | 5~45℃ | |
工作压差： | 0.1~0.5MPa | |
最大压力： | 3MPa | |
准确度： | ±1.5% FS | |
机械压力表 | 测量范围： | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
针阀 | 316不锈钢 | |
混气罐 | Φ80×120mm | |
截止阀 | Φ6mm 316不锈钢针阀 | |
尺寸 | 600×600×650 mm | |
