BOF-2C-400D-量产级箱式升华仪_升华仪-安徽贝意克设备技术有限公司手机版

详细介绍

滑轨进料系统、加热系统、组合型收集系统、预热及真空系统、工控及操作系统。

1、叉车式进料系统：

轨道滑动式进出料模式，配备5层加热托盘支架每一层2个托盘且上下左右密封，且每一层支架配备加热元器件，加热温度可控，且托盘可从托盘支架上自由装/卸。每一层托盘支架外侧配备进气口，给腔体提供气流导向。门板与腔体之间采用加装护照和石墨密封，即可防止材料沉积到门板上，也可维持基础真空。

2、加热系统

加热腔体采用氧化铝陶瓷纤维制品与加热丝一体成型设计，金属内腔体，测温元件采用K型热偶，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号。

3、组合型收集系统

收集区由两个收集腔体组成，与加热腔体连接处的部分，配备加热系统，温度可控。另外一节收集腔体，配备可滑动装置，方便收集腔体取料、拆卸、清理。收集管底部配备风冷系统，尾端配备舱门以及排气接口与机械泵连接。

4、预热及真空系统

进气系统配备预热装置，预热的气体从装料托盘进气口接入、经过主加热腔体再从收集

管道排出。设备配备机械泵和电阻真空计，并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。

5、工控及操作系统

配备15寸工控屏，集加热、真空、数据处理等控制为一体。

1、轨道滑动式进出料模式，配备载料托盘，可通过跟换托盘来实现连续升华；

2、每层托盘都配备加热系统，且温度可控，温场均匀；

3、配备气体引流系统，辅助材料升华后沉积到收集区；

4、采用触摸屏控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录；

5、设备集成化设计、以及集成化管理，美观方便。

整体尺寸	长宽高 650014001855mm（进料滑轨打开）备注：放料托盘划出与加热主腔体预留500mm间隙
控制柜尺寸	长宽高=9505002000mm
整机重量	≤2000kg，每平方承重约400-500kg
滑轨式进料系统	单个托盘尺寸	长宽高=80064050mm
	单个托盘重量	约10kg
	托盘数量	5层10个
	托盘材质	304不锈钢
	通气	每一层托盘上下左右密封，且每层双边配备吹起口，配备质量流量计可控制进气均匀性
加热系统	腔体尺寸	长高高深=90010001400mm（以实机为准）
	使用温度	450℃
	最高温度	≤600℃
	保温材质	氧化铝陶瓷纤维
	加热元件	加热棒
	测温元件	K型热偶
	密封方式	石墨密封
	升温速率	1-15℃/min，可调
	控温方式	人机界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制
	内腔体材质	304不锈钢
收集系统	收集管尺寸	带加热区Φ400*500mm，可拆卸
	收集管尺寸	带隔热防护区Φ400*1300mm，带滑轨，可拆卸
	腔体连接法兰	异形定制
	冷却方式	风冷
	加热方式	加热丝
	排水	配备排水装置
预热及真空系统	预热温度	400℃
	炉管尺寸	Φ100mm
	加热元件	电阻丝
	温控系统	30段可编程控温，PID参数自整定，具有超温和断偶报警功能
	加热区长度	400mm
	机械泵	BSV30，抽速30m³/h
	真空计	成都正华，电阻规
	真空范围	≤100Pa
	排气接口	KF25/40
工控及操作系统	控制方式	15寸触控屏
	功能实现	整合设备各部件开关，真空、加热等控制，软件通讯功能稳定可靠，可视化温度且数据实时记录且可导出
	电	30KW，整机使用电源380V，三相五线制；
	三色灯	黄灯为待机，绿灯为运行，红灯为报警
	报警防护	超温声光报警
		热电偶故障声光报警
		生产结束声光报警
		前级泵异常声光报警
		配备机械式急停按钮

产品简介

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常用功能直达