可变形反射镜介绍

通过我们与Boston Micromachines Corporation（BMC）的合作伙伴关系，Thorlabs很高兴能够为*光学控制提供BMC的Mini-DM和Muti-DM型微机械可变形反射镜系统。为了帮助安装和设置，每个包装都包括、驱动器和控制软件。这些反射镜能够改变形状，以校正高度畸变的入射波前（参考像差类型标签了解更多关于DM可校正的像差）。由于多功能性、技术的成熟性及可提供的高分辨率波前校正，微机电（MEMS）是目前使用zui广泛的波前整形技术。

这些采用多晶硅表面微加工制造方法制造的常用和通用，在易于使用的封装中提供精细的像差补偿。该反射镜包括由32个静电驱动器（即对于Mini-DM型，包含四个非活动角落驱动器的6×6驱动器阵列），或140个静电驱动器（即Multi-DM型，包含四个非活动角落驱动器的12×12驱动器阵列）进行变形的反射镜衬底，任何一个驱动器都可以单独控制。这些驱动器在紧凑的区域内提供了3.5微米的行程。此外，包含1020个驱动器的Kilo-DM（即包含四个非活动角落驱动器的32×32驱动器阵列）是由Boston Micromachines Corporation提供的。Kilo-DM驱动器提供1.5微米的行程。与压电反射镜不同，BMC反射镜使用的静电驱动确保了无滞后的变形。

Mini - DM、Multi-DM和Kilo- DM提供镀金膜或铝膜的反射镜。所有三种型号的产品系列在反射镜前都有一个6度楔形保护窗，带有400-1100纳米范围内的宽带增透膜（请参阅图标签获取镀膜曲线的信息。如果您对不同镀膜范围感兴趣，请）。虽然在天文上的应用是*的，但这些微型精密波前控制装置还可以帮助研究人员在光束成形、显微镜、激光通信和视网膜成像等方面取得突破。

为您的应用选择DM：
理想情况下，需要假定具有与像差轮廓共轭的表面形状以补偿像差。然而，可以通过特定的校正的波前的实际范围受到驱动器的行程和分辨率、驱动器的数量和分布，以及用于决定DM合适的控制信号的型号的限制；前两者是本身的物理限制，而zui后一个是使用的控制软件的限制。

驱动器的行程是DM驱动器的动态范围（即zui大位移）的另一种表述，通常以微米来衡量。不恰当的驱动器行程会导致性能较差，并阻碍控制回路的汇合。

驱动器的数量决定了发射镜可以校正的自由度数量。尽管已提出许多不同的驱动器阵列，包括方形、三角形和六角形，但大多数都采用了方形驱动器阵列，可以简便地在直角坐标系上定位，并且轻松地绘制位于波前传感器上的方形探测器阵列。为了在圆形孔径上适应方形阵列，角落驱动器通常是非活动的。

自适应光学：

是构成自适应光学（AO）系统的三种主要组件之一。这种系统用于校正（整形）光束的波前。与波前传感器和控制软件一起，DM形成一个能够实时主动校正相位畸变的闭环系统（要了解更多信息，请点击自适应光学系统教程标签）。

传统上，这些系统用于天文学和美国的国防领域，但它们对于任何能够从光的相位控制中受益的领域来说都是一种伟大的补充。今天，自适应光学元件的应用已经渗透到众多领域，包括飞秒激光脉冲整形、显微镜、激光通信、视力矫正和视网膜成像等。