薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。

NC-UV-VIS-NIR

重量：

250-1100 nm

厚度：

10 nm-70 m

光源：

氘卤灯

NC-UV-VIS

重量：

250-850 nm

厚度：

10 nm-20 m

光源：

氘卤灯

NC-VIS-NIR

重量：

400-1100 nm

厚度：

20nm-100µm （可选1µm-250µm）

光源：

卤灯

NC-VIS

重量：

400-850 nm

厚度：

50 nm-20μm

光源：

卤灯

NC-NIR

重量：

650-1100 nm

厚度：

70 nm-70μm

光源：

卤灯

NC-NIR-HR

重量：

650-1100nm

厚度：

70 nm-70μm

光源：

卤灯

NC-512-NIR

重量：

900-1700 nm

厚度：

50 nm-200μm

光源：

高亮度卤灯

入射角：

90°

层数：

3层以下

需要进行参考值测量：

是

透明材料：

是

传输模式：

是

粗糙材料：

是

测量速度：

100ms - 1s

在线监测：

可以

公差（高度）：

参考值测量或准直（74-UV）

公差（角度）：

参考值测量

微黑子选项：

配显微镜

显示选项：

配显微镜

定位选项：

6"和12" XYZ 定位台

真空：

可以