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美国是德Keysight LCR电桥四大金刚

美国是德Keysight LCR电桥E4980AL-032    20Hz to 300 kHz with DCR
美国是德Keysight LCR电桥E4980AL-052    20Hz to 500 kHz with DCR
美国是德Keysight LCR电桥E4980AL-102    20Hz to 1 MHz with DCR
美国是德KEYSIGHT E4980AL LCR电桥 精密LCR表，20 Hz至2 MHz

E4980A 是 20 Hz 至 2 MHz 频率范围 LCR 表的型号。

E4980AL 是 20 Hz 至 300 kHz、 500 kHz 或 1 MHz 频率范围 LCR 表的型号。

频率范围 型号和选件

20 Hz 至 2 MHz E4980A

20 Hz 至 1 MHz E4980AL-102

20 Hz 至 500 kHz E4980AL-052

20 Hz 至 300 kHz E4980AL-032

测量参数

– Cp-D、 Cp-Q、 Cp-G、 Cp-Rp

– Cs-D、 Cs-Q、 Cs-Rs

– Lp-D、 Lp-Q、 Lp-G、 Lp-Rp、 Lp-Rdc

– Ls-D、 Ls-Q、 Ls-Rs、 Ls-Rdc

– R-X

– Z-qd、 Z-qr

– G-B

– Y-qd、 Y-qr

– Vdc-Idc1

定义

Cp 通过并联等效电路模型测得的电容值

Cs 通过串联等效电路模型测得的电容值

Lp 通过并联等效电路模型测得的电感值

Ls 通过串联等效电路模型测得的电感值

D 损耗因数

Q 品质因数（D 的倒数）

G 通过并联等效电路模型测得的等效并联电导

Rp 通过并联等效电路模型测得的等效并联电阻

Rs 通过串联等效电路模型测得的等效串联电阻

Rdc 直流电阻

R 电阻

X 电抗

Z 阻抗

Y 导纳

qd 阻抗/导纳相位角（角度）

qr 阻抗/导纳相位角（弧度）

B 电纳

Vdc 直流电压

Idc 直流电流

偏差测量功能： 参考值偏差以及参考值偏差百分比可以作为结果输出。

测量等效电路： 并联、串联

阻抗范围选择： 自动（自动范围模式）、手动（保持范围模式）

触发模式： 内部触发（ INT）、手动触发（ MAN）、外部触发（ EXT）、 GPIB 触发（BUS）

美国是德KEYSIGHT E4980AL LCR电桥基本技术指标

 1. 触发时延范围 0 s - 999 s

分辨率 100 µs (0 s - 100 s)

1 ms (100 s - 999 s)

表 2. 阶跃时延

范围 0 s - 999 s

分辨率 100 µs (0 s - 100 s)

1 ms (100 s - 999 s)

测量端子： 四端子对

测试线缆长度： 0 m、 1 m、 2 m、 4 m

测量时间模式：短时间（SHORT）模式、中等长度时间（MED）模式、长时间（LONG）模式。

表 3. 平均值

范围 1 - 256 次测量

分辨率 1

测试信号

表 4. 测试频率

测试频率 20 Hz - 2 MHz (E4980A)

20 Hz - 1 MHz (E4980AL-102)

20 Hz - 500 kHz (E4980AL-052)

20 Hz - 300 kHz (E4980AL-032)

分辨率 0.01 Hz (20 Hz - 99.99 Hz)

0.1 Hz (100 Hz - 999.9 Hz)

1 Hz (1 kHz - 9.999 kHz)

10 Hz (10 kHz - 99.99 kHz)

100 Hz (100 kHz - 999.9 kHz)

1 kHz (1 MHz - 2 MHz)

测量精度 ±0.01%

表 5. 测试信号模式

常规 在测量端子开路或短路时，程序分别选择的电压或电流。

恒定 无论被测器件阻抗如何变化，均在被测器件上维持选定的电压或电流。

表 6. 测试信号电压

范围 0 Vrms - 2.0 Vrms

分辨率 100 µVrms (0 Vrms - 0.2 Vrms)

200 µVrms (0.2 Vrms - 0.5 Vrms)

500 µVrms (0.5 Vrms - 1 Vrms)

1 mVrms (1 Vrms - 2 Vrms)

精度 常规 ±(10% + 1 mVrms) 测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标

测试频率 > 1 MHz：典型值

恒定1 ±(6% + 1 mVrms) 测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标

测试频率 > 1 MHz：典型值

表 7. 测试信号电流

范围 0 Arms - 20 mArms

分辨率 1 µArms (0 Arms - 2 mArms)

2 µArms (2 mArms - 5 mArms)

5 µArms (5 mArms - 10 mArms)

10 µArms (10 mArms - 20 mArms)

精度 常规 ±(10% + 10 µArms) 测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标

测试频率 > 1 MHz：典型值

恒定1 ±(6% + 10 µArms) 测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标

测试频率 > 1 MHz：典型值

输出阻抗： 100 Ω（标称值）

测试信号电平监测功能

– 可以监测测试信号的电压和电流。

– 电平监测精度：

表 8. 测试信号电压监测精度（Vac）

测试信号电压2 测试频率 技术指标

5 mVrms - 2 Vrms ≤ 1 MHz ±（读数的 3% + 0.5 mVrms）

> 1 MHz ±（读数的 6% + 1 mVrms）

表 9. 测试信号电流监测精度（lac）

测试信号电流2 测试频率 技术指标

50 µArms - 20 mArms ≤ 1 MHz

> 1 MHz

±（读数的 3% + 5 µArms）

±（读数的 6% + 10 µArms）

1. 当自动电平控制功能开启时。

2. 这不是输出值，而是显示的测试信号电平。

表 10 列出了屏幕上可以显示的测量值范围。对于有效的测量范围，参见图 1 中的阻抗

测量精度示例。

表 10. 允许的测量值显示范围

参数 测量显示范围

Cs、 Cp ± 1.000000 aF 至 999.9999 EF

Ls、 Lp ±1.000000 aH 至 999.9999 EH

D ±0.000001 至 9.999999

Q ±0.01 至 99999.99

R、 Rs、 Rp、 X、 Z、 Rdc ±1.000000 aΩ 至 999.9999 EΩ

G、 B、 Y ±1.000000 aS 至 999.9999 ES

Vdc ±1.000000 aV 至 999.9999 EV

Idc ±1.000000 aA 至 999.9999 EA

qr ±1.000000 arad 至 3.141593 rad

qd ±0.0001 deg 至 180.0000 deg

∆% ±0.0001% 至 999.9999%

a： 1 x 10-18、 E: 1 x 1018

绝对测量精度

绝对精度使用以下方程式来计算。

|Z|、 |Y|、 L、 C、 R、 X、 G、 B 的绝对精度 Aa（当Dx ≤ 0.1 时， L、 C、 X 和 B 精度适

用，当 Qx ≤ 0.1 时， R 和 G 精度适用）

当 Dx ≥ 0.1，用 Acal 乘以 √1+D2x， 得到 L、 C、 X 和 B 精度

当 Qx ≥ 0.1，用 Acal 乘以 √1+Q2x ，得到 R 和 G 精度

在交流磁场中，可以使用以下方程式来计算测量精度。

A x (1 + B x ( 2 + 0.5 / Vs))

其中 A 绝对精度

B 磁感应强度 [Gauss]

Vs 测试信号电压电平 [V]

方程式 1： Aa = Ae + Acal

Aa 绝对精度（读数的 %）

Ae 相对精度（读数的 %）

Acal 校准精度（%）

其中， G 精度仅适用于 G-B 测量。

D 精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

方程式 2： De +qcal

Dx 测得的 D 值

De D 的相对精度

qcal q 的校准精度（弧度）

当 0.1 < Dx ≤ 1 时，用 qcal 乘以 (1 + Dx)

Q 精度（当 Qx × Da < 1 时）

方程式 3： (Qx2 × Da)

± ————————————

(1 ± Qx × Da)

Qx 测得的 Q 值

Da D 的绝对精度

q 精度

方程式 4： qe + qcal

qe q 的相对精度（角度）

qcal q 的校准精度（角度）G 精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

方程式 5： Bx + Da (S)

1

Bx = 2πfCx = ——————

2πfLx

Dx 测得的 D 值

Bx 测得的 B 值 (S)

Da D 的绝对精度

f 测量频率 (Hz)

Cx 测得的 C 值 (F)

Lx 测得的 L 值 (H)

其中， G 精度适用于 Cp-G 测量。

Rp 的绝对精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

方程式 6： Rpx × Da

±————————— (Ω)

Dx± Da

Rpx 测得的 Rp 值 (Ω)

Dx 测得的 D 值

Da D 的绝对精度

Rs 的绝对精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

方程式 7： Xx × Da (Ω)

1

Xx = ——————= 2πfLx

2πfCx

Dx 测得的 D 值

Xx 测得的 X 值 (Ω)

Da D 的绝对精度

f 测试频率 (Hz)

Cx 测得的 C 值 (F)

Lx 测得的 L 值 (H)

1. 当计算结果为负值时，应用 0 A。

相对精度

相对精度包括稳定度、温度系数、线性度、重复度以及校准内插值误差。相对精度是在满足以下所有条件时规定的：

– 预热时间： 30 分钟

– 测试线缆长度： 0 m、 1 m、 2 m 或 4 m（Keysight 16048A/D/E）

– 没有显示“信号源过载”警告。

当测试信号电流超过下面表 11 中的值时， LCR 表会显示“信号源过载”警告。

表 11.

测试信号电压 测试频率 条件1

≤ 2 Vrms – –

> 2 Vrms ≤ 1 MHz 110 mA 或 130 mA - 0.0015 × Vac × (Fm / 1 MHz) ×

(L_cable + 0.5)，取较小值

> 1 MHz 70 mA - 0.0015 × Vac × (Fm / 1 MHz) × (L_cable + 0.5)

Vac [V] 测试信号电压

Fm [Hz] 测试频率

L_cable [m] 线缆长度

– 已进行了开路和短路校正。

– 偏置电流隔离：关闭

– 直流偏置电流不会超过每个直流偏置电流范围内的设定值

– 通过将被测器件的阻抗与有效测量范围匹配，选择最佳阻抗范围。

|Z|、 |Y|、 L、 C、 R、 X、 G 和 B 精度（当 Dx ≤ 0.1 时， L、 C、 X 和 B 精度适用；当 Qx ≤0.1 时， R 和 G 精度适用）

当 Dx > 0.1 时，用 Ae 乘以 √1+D2x ，得到 L、 C、 X 和 B 精度

当 Qx > 0.1 时，用 Ae 乘以 √1+Q2x ，得到 R 和 G 精度

相对精度 Ae 按下式计算：

方程式 8： Ae = [Ab + Zs /|Zm| × 100 + Yo × |Zm| × 100 ] × Kt

Zm 被测器件阻抗

Ab 基本精度

Zs 短路偏置

Yo 开路偏置

Kt 温度系数

D 精度

当 Dx ≤ 0.1 时， D 精度 De 按下式计算：

方程式 9： De = ±Ae/100

Dx 测得的 D 值

Ae |Z|、 |Y|、 L、 C、 R、 X、 G 和 B 的相对精度

当 0.1 < Dx ≤ 1 时，用 De 乘以 (1 + Dx)

Q 精度（当 Q x De < 1 时）

Q 精度 Qe 按下式计算：

方程式 10： (Qx2 × De)

Qe = ± —————————————

(1± Qx × De)

Qx 测得的 Q 值

De 相对 D 精度

q 精度

q 精度 θ e 按下式计算：

方程式 11: 180 × Ae

qe = (deg)

π × 100

Ae |Z|、 |Y|、 L、 C、 R、 X、 G 和 B 的相对精度

G 精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

G 精度 Ge 按下式计算：

方程式 12： Ge = Bx × De (S)

1

Bx = 2πfCx = ——————

2πfLx

Ge G 相对精度

Dx 测得的 D 值

Bx 测得的 B 值

De D 相对精度

f 测试频率 (Hz)

Cx 测得的 C 值 (F)

Lx 测得的 L 值 (H)

Rp 精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

Rp 精度 Rpe 按下式计算：

方程式 13： Rpx × De (Ω)

Rpe = ± ———————————

Dx ± De

Rpe Rp 相对精度

Rpx 测得的 Rp 值 (Ω)

Dx 测得的 D 值

De D 的相对精度

Rs 精度（当 Dx ≤ 0.1 时）

Rs 精度 Rse 按下式计算：

方程式 14： Rse = Xx × De (Ω)

1

Xx = —————–—= 2πfLx

2πfCx

Rse Rs 的相对精度

Dx 测得的 D 值

Xx 测得的 X 值 (Ω)

De D 的相对精度

f 测试频率 (Hz)

Cx 测得的 C 值 (F)

Lx 测得的L 值 (H)

C-D 精度计算示例

测量条件

测试频率： 1 kHz

测得的 C 值： 100 nF

测试信号电压： 1 Vrms

测量时间模式： MED

测量温度： 23°C

Ab = 0.05%

|Zm| = 1 / (2π × 1 × 103 × 100 × 10-9) = 1590 Ω

Zs = 0.6 mΩ × (1 + 0.400/1) × (1 + √(1000/1000) = 1.68 mΩ

Yo = 0.5 nS × (1 + 0.100/1) × (1 + √(100/1000) = 0.72 nS

C 精度： Ae = [0.05 + 1.68 m/1590 × 100 + 0.72 n × 1590 × 100] × 1 = 0.05%

D 精度： De = 0.05/100 = 0.0005

基本精度

基本精度 Ab 可通过表 12、 13、 14、 15 获得。

表 12. 测量时间模式 = SHORT

测试

频率 [Hz]

测试信号电压

5 mVrms ≤ -

< 50 mVrms

50 mVrms ≤ -

< 0.3 Vrms

0.3 Vrms ≤ -

1 Vrms

1 Vrms < -

≤ 10 Vrms

10 Vrms < -

≤ 20 Vrms

20 - 125 (0.6%) ×

(50 mVrms/Vs)

0.60% 0.30% 0.30% 0.30%

125 - 1 M (0.2%) ×

(50 mVrms/Vs)

0.20% 0.10% 0.15% 0.15%

1 M - 2 M (0.4%) ×

(50 mVrms/Vs)

0.40% 0.20% 0.30% 0.30%

表 13. 测量时间模式 = MED、 LONG

测试

频率 [Hz]

测试信号电压

5 mVrms ≤ -

< 30 mVrms

30 mVrms ≤ -

< 0.3 Vrms

0.3 Vrms ≤ -

≤ 1 Vrms

1 Vrms < -

≤ 10 Vrms

10 Vrms < -

≤ 20 Vrms

20 - 100 (0.25%) ×

(30 mVrms/Vs)

0.25% 0.10% 0.15% 0.15%

100 - 1 M (0.1%) ×

(30 mVrms/Vs)

0.10% 0.05% 0.10% 0.15%

1 M - 2 M (0.2%) ×

(30 mVrms/Vs)

0.20% 0.10% 0.20% 0.30%

Vs [Vrms] 测试信号电压

被测器件阻抗的效应

表 14. 被测器件阻抗低于 30 Ω 时，添加以下值。

测试频率 [Hz] 被测器件阻抗

1.08 Ω ≤ |Zx| < 30 Ω |Zx| < 1.08 Ω

20 - 1 M 0.05% 0.10%

1 M - 2 M 0.10% 0.20%

表 15. 被测器件阻抗高于 9.2 k Ω 时，添加以下值。

测试频率 [Hz] 被测器件的阻抗

9.2 kΩ < |Zx| ≤ 92 kΩ 92 kΩ < |Zx|

10 k - 100 k 0% 0.05%

100 k - 1 M 0.05% 0.05%

1 M - 2 M 0.10% 0.10%

电缆延长的效应

当电缆延长时，每一米增加以下元素。

0.015 % × (Fm/1 MHz)2 × (L_cable)2

Fm [Hz] 测试频率

L_cable [m] 电缆长度

短路偏置 Zs

表 16. 被测器件阻抗 > 1.08 Ω

测试

频率 [Hz]

测量时间模式

SHORT MED、 LONG

20 - 2 M 2.5 mΩ × (1 + 0.400/Vs) ×

(1 + √(1000/Fm))

0.6 mΩ × (1 + 0.400/Vs) ×

(1 + √(1000/Fm))

表 17. 被测器件阻抗 ≤ 1.08 Ω

测试

频率 [Hz]

测量时间模式

SHORT MED、 LONG

20 - 2 M 1 mΩ × (1 + 1/Vs) × (1 + √(1000/Fm)) 0.2 mΩ× (1 + 1/Vs)× (1 + √(1000/Fm))

Vs [Vrms] 测试信号电压

Fm [Hz] 测试频率

电缆延长的效应（短路偏置）

表 18. 当电缆延长后， Zs 增加以下值（与测量时间模式无关）。

测试

频率 [Hz]

电缆长度

0 米 1 米 2 米 4 米

20 - 1 M 0 0.25 mΩ 0.5 mΩ 1 mΩ

1 M - 2 M 0 1 mΩ 2 mΩ 4 mΩ

开路偏置 Yo

表 19. 测试信号电压 ≤ 2.0 Vrms

测试

频率 [Hz]

测量时间模式

SHORT MED、 LONG

20 - 100 k 2 nS × (1 + 0.100/Vs) × (1 + √(100/Fm)) 0.5 nS × (1 + 0.100/Vs) × (1 + √(100/Fm))

100 k - 1 M 20 nS × (1 + 0.100/Vs) 5 nS × (1 + 0.100/Vs)

1 M - 2 M 40 nS × (1 + 0.100/Vs) 10 nS × (1 + 0.100/Vs)

表 20. 测试信号电压 > 2.0 Vrms

测试

频率 [Hz]

测量时间模式

SHORT MED、 LONG

20 - 100 k 2 nS × (1 + 2/Vs) × (1 + √(100/Fm)) 0.5 nS × (1 + 2/Vs) × (1 + √(100/Fm))

100 k - 1 M 20 nS × (1 + 2/Vs) 5 nS × (1 + 2/Vs)

1 M - 2 M 40 nS × (1 + 2/Vs) 10 nS × (1 + 2/Vs)

Vs [Vrms] 测试信号电压

Fm [Hz] 测试频率

说明

由于剩余响应，在 40 至 70 kHz 和 80 至 100 kHz

范围内，开路偏置可能变大为原来的三倍。

电缆长度的效应

表 21. 当电缆延长后，用 Yo 乘以以下因数。

测试

频率 [Hz]

电缆长度

0 米 1 米 2 米 4 米

100 - 100 k 1 1 + 5 × Fm/1 MHz 1 + 10 × Fm/1 MHz 1 + 20 × Fm/1 MHz

100 k - 1 M 1 1 + 0.5 × Fm/1 MHz 1 + 1 × Fm/1 MHz 1 + 2 × Fm/1 MHz

1 M - 2 M 1 1 + 1 × Fm/1 MHz 1 + 2 × Fm/1 MHz 1 + 4 × Fm/1 MHz

Fm [Hz] 测试频率

温度系数 Kt

表 22. 温度系数 Kt 在下面给出。

温度 [° C] Kt

0 - 18 4

18 - 28 1

28 - 55 4

校准精度 Acal

校准精度 Acal 在下面给出。

对于分界线上的被测器件阻抗，取较小值。

表 23. 阻抗范围 = 0.1、 1、 10 Ω

测试频率 [Hz]

20 - 1 k 1 k - 10 k 10 k -100 k 100 k - 300 k 300 k - 1 M 1 M - 2 M

|Z| [%] 0.03 0.05 0.05 0.05 +

5 × 10-5 Fm

0.05 +

5 × 10-5 Fm

0.1 +

1 × 10-4 Fm

q [弧度] 1 × 10-4 2 × 10-4 3 × 10-4 3 × 10-4 +

2 × 10-7 Fm

3 × 10-4 +

2 × 10-7 Fm

6 × 10-4+

4 × 10-7 Fm

表 24. 阻抗范围 = 100 Ω

测试频率 [Hz]

20 - 1 k 1 k - 10 k 10 k -100 k 100 k - 300 k 300 k - 1 M 1 M - 2 M

|Z| [%] 0.03 0.05 0.05 0.05 +

5 × 10-5 Fm

0.05 +

5 × 10-5 Fm

0.1 +

1 × 10-4 Fm

q [弧度] 1 × 10-4 2 × 10-4 3 × 10-4 3 × 10-4 3 × 10-4 6 × 10-4

表 25. 阻抗范围 = 300、 1 kΩ

测试频率 [Hz]

20 - 1 k 1 k - 10 k 10 k -100 k 100 k - 300 k 300 k - 1 M 1 M - 2 M

|Z| [%] 0.03 0.03 0.05 0.05 0.05 0.1

q [弧度] 1 × 10-4 1 × 10-4 3 × 10-4 3 × 10-4 3 × 10-4 6 × 10-4

表 26. 阻抗范围 = 3 k、 10 kΩ

测试频率 [Hz]

20 - 1 k 1 k - 10 k 10 k -100 k 100 k - 300 k 300 k - 1 M 1 M - 2 M

|Z| [%] 0.03 +

1 × 10-4 Fm

0.03 +

1 × 10-4 Fm

0.03 +

1 × 10-4 Fm

0.03 +

1 × 10-4 Fm

0.03 +

1 × 10-4 Fm

0.06 +

2 × 10-4 Fm

q [弧度] (100 + 2.5 Fm)

× 10-6

(100 + 2.5 Fm)

× 10-6

(100 + 2.5 Fm)

× 10-6

(100 + 2.5 Fm)

× 10-6

(100 + 2.5 Fm)

× 10-6

(200 + 5 Fm)

× 10-6

表 27. 阻抗范围 = 30 k、 100 kΩ

测试频率 [Hz]

20 - 1 k 1 k - 10 k 10 k -100 k 100 k - 300 k 300 k - 1 M 1 M - 2 M

|Z| [%] 0.03 +

1 × 10-3 Fm

0.03 +

1 × 10-3 Fm

0.03 +

1 × 10-3 Fm

0.03 +

1 × 10-3 Fm

0.03 +

1 × 10-4 Fm

0.06 +

2 × 10-4 Fm

q [弧度] (100 + 20 Fm)

× 10-6

(100 + 20 Fm)

× 10-6

(100 + 20 Fm)

× 10-6

(100 + 20 Fm)

× 10-6

(100 + 2.5 Fm)

× 10-6

(200 + 5 Fm)

× 10-6

Fm[kHz] 测试频率

测量精度

下面的阻抗测量计算示例是绝对测量精度的结果。

图 1. 阻抗测量精度（测试信号电压 = 1 Vrms，电缆长度 = 0 米，测量时间模式 = MED）

100

10

10

1

100m

10m

1m

100μ

10μ

1μ

100n

10n

1n

10m

100m

1

10

100

1k

10k

100k

1M

10M

100M

1m

1G

20 100 1k 10k 100k 1M 2M

10pF

1nF

100pF

10nF

100nF

1μF

10μF

100μF

1mF

10mF

100mF

1F

10nH

1nH

100pH

100nH

1μH

10μH

100μH

1mH

10mH

100mH

1H

10H

100H

1pF

100fF

10fF

1fF

100aF

1kH

10kH

100kH

1MH

0.3%

0.3%

0.1%

0.1%

1.0%

10.0%

1.0%

10.0%

[Ω]

[ S ]

频率 [Hz]

C L

补偿功能

表 28. E4980A 提供了三种补偿功能：开路补偿、短路补偿和负载补偿。

补偿类型 描述

开路补偿 补偿测试夹具的杂散导纳（C, G）导致的误差。

短路补偿 补偿测试夹具的剩余阻抗（L, R）导致的误差。

负载补偿 补偿用户所需的测量条件下实际测量值与已知标准值之间的误差。

列表扫描

点数： 最大点数为 201 点。

第一个扫描参数（一次参数）： 测试频率、测试信号电压、测试信号电流、直流偏置信号的测试信号电压、直流偏置信号的测试信号电流、直流电源电压。

第二个扫描参数（二次参数）： 无、阻抗范围、测试频率、测试信号频率、测试信号电压、测试信号电流、直流偏置信号的测试信号电压、直流偏置信号的测试信号电流、直流电源电压

触发模式

顺序模式： 一旦触发 E4980A，它会在所有扫描点测量器件。 /EOM/INDEX 只输出一次。

步进模式： 每次触发 E4980A 时，扫描点都会递增。在每个点上都会输出 /EOM/INDEX，但只有在最后一个/EOM 输出后，列表扫描的比较器功能才会提供结果。

说明

为两个参数中的其中一个择的参数无法再为另一个参数选中。无法设置测试信号电压与测试信号电流组合，或直流偏置信号的测试信号电压与直流偏置信号的测试信号电流组合之一。

二次参数只能通过 SCPI 命令设置。

列表扫描的比较器功能： 比较器功能支持为每个测量点设置一对上下限值。

您可以选择： 通过第一个扫描参数进行判断/通过第二个参数进行判断/不用于每对

限值。

时间戳功能： 在顺序模式下，可以将 FW 检测到触发信号的时间定义为 0，以记录每个

测量点上的测量开始时间，而后通过 SCPI 命令获取该时间。

比较器功能

Bin 排序： 一次参数可以排序为 9 个 BIN、 OUT_OF_BINS、 AUX_BIN 和 LOW_C_

REJECT。二次参数排序为 HIGH、 IN 和 LOW。可以选择顺序模式和容限模式作为分类模式。

限值设置： 设置中可以使用绝对值、偏差值 和 % 偏差值。

BIN 计数： 可从 0 记录至 999999。

直流偏置信号

表 29. 测试信号电压

范围 0 V 至 +2 V

分辨率 仅限 0 V / 1.5 V / 2 V

精度 0.1% + 2 mV (23°C ± 5°C)

(0.1% + 2 mV) × 4

(0 至 18°C 或 28 至 55°C）

输出阻抗： 100 Ω（标称值）

辅助测量功能

数据缓存功能： 每个批次最多可以读取 201 个测量结果。

保存/调用功能：

– 可以向内置非易失性存储器中写入或从其中读出最多 10 个设置条件。

– 可以向 USB 存储器中写入或从其中读出最多 10 个设置条件。

– 在将设置条件写入到 USB 存储器的寄存器 10 时，执行自动调用功能。

按键锁定功能： 可以锁定前面板按键。

GPIB： 引脚 D-Sub（D-24 型），阴头；符合 IEEE488.1、 2 和 SCPI 标准

USB 主机端口： 通用串行总线插座， Type-A（4 个触点位置，触点 1 位于您的左侧），

阴头（仅限连接 USB 存储器）。

USB 接口端口： 通用串行总线插座， Type Mini-B（ 4 个触点位置）；符合 USBTMC-USB488 和 USB 2.0 标准；阴头；用于连接外部控制器。

USBTMC： USB 测试与测量分类的缩写

LAN： 10/100 BaseT 以太网， 8 个引脚（两个速度选项）

LXI 一致性： C 类（仅适用于固化软件版本 A.02.00 或更高版本的设备）

说明

可以使用以下 USB 存储器。

符合 USB 1.1 标准；大容量存储器类别，

FAT16/FAT32 格式；最大消耗电流低于 500 mA。

推荐使用的 USB 存储器： 4 GB USB 闪存

（Keysight PN 1819-0637）和 16GB USB 闪

存（Keysight PN 1819-1235）。

使用专门推荐 E4980A 使用的 USB 存储器，

否则，以前保存的数据可能被清除。如果您没

有使用推荐的 USB 存储器，那么数据可能无

法正常保存或调用。

对于因使用 E4980A 导致的 USB 存储器数据丢失，是德科技不承担责任。

频率选件

E4980A 20 Hz 至 2 MHz

E4980AL-032 20 Hz 至 300 kHz

E4980AL-052 20 Hz 至 500 kHz

E4980AL-102 20 Hz 至 1 MHz

表 30. 可安装选件

选件 E4980A E4980AL

电源和直流偏置增强（001） 可安装 不可安装

DCR 测量（200） 可安装1 不可安装2

机械手接口（201） 可安装 可安装

扫描仪接口（301） 可安装 可安装

接口选件

选件 201（机械手接口）

增加机械手接口。

选件 301（扫描仪接口）

增加扫描仪接口。

选件 710（无接口）

没有接口的选件。

后面板的接口连接器上最多可以安装 2 个接口选件。

在不安装接口时，安装两个选件 710。在安装一个接口时，安装该选件编号的接口和一

个选件 710。

其他选件

选件 001（电源和直流偏置增强）

增加测试信号的电压，并增加可变的直流偏置电压。

选件 007（标准型号）

将入门级型号升级至标准型号（仅适用于 E4980AU）。

选件 200（DCR 测量）

增加 DCR 测量。

1. 必选选件

2. 默认配备 DCR 测量功能。

说明

选件 007 只能安装在配有选件 005 的 E4980A

中。

说明

E4980A-200/001 和 E4980AL-032/052/102

支持 DCR 测量功能。

选件

说明

选件 xxx 在订货信息中描述为 E4980A-xxx

20 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料电源和直流偏置增强技术指标

提高测试信号电压并增加可变直流偏置电压功能。

Vdc-Idc 测量功能在安装选件 001 后提供。

测量参数

可以使用以下参数。

– Lp-Rdc

– Ls-Rdc

– Vdc-Idc

其中

Rdc 直流电阻（DCR）

Vdc 直流电压

Idc 直流电流

测试信号

信号电平

表 31. 测试信号电压

范围 0 Vrms 至 20 Vrms（测试频率 ≤ 1 MHz）

0 Vrms 至 15 Vrms（测试频率 > 1 MHz）

分辨率 100 µVrms (0 Vrms - 0.2 Vrms)

200 µVrms (0.2 Vrms - 0.5 Vrms)

500 µVrms (0.5 Vrms - 1 Vrms)

1 mVrms (1 Vrms - 2 Vrms)

2 mVrms (2 Vrms - 5 Vrms)

5 mVrms (5 Vrms - 10 Vrms)

10 mVrms (10 Vrms - 20 Vrms)

设置精度 常规 ±(10% + 1 mVrms)（测试信号电压 ≤ 2 Vrms）

（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，测试频率 > 1 MHz：典型值）

±(10% + 10 mVrms)（测试频率 ≤ 300 kHz，

测试信号电压 > 2 Vrms）（技术指标）

±(15% + 20 mVrms)（测试频率 > 300 kHz，

测试信号电压 > 2 Vrms）

（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，测试频率 > 1 MHz：典型值）

恒定1 ±(6% + 1 mVrms)（测试信号电压 ≤ 2 Vrms）

（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，测试频率 > 1 MHz：典型值）

±(6% + 10 mVrms)（测试频率 ≤ 300 kHz，

测试信号电压 > 2 Vrms）（技术指标）

±(12% + 20 mVrms)（测试频率 > 300 kHz，

测试信号电压 > 2 Vrms）（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，

测试频率 > 1 MHz：典型值）

1. 当自动电平控制功能开启时。

21 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料表 32. 测试信号电流

范围 0 Arms - 100 mArms

分辨率 1 µArms (0 Arms - 2 mArms)

2 µArms (2 mArms - 5 mArms)

5 µArms (5 mArms - 10 mArms)

10 µArms (10 mArms - 20 mArms)

20 µArms (20 mArms - 50 mArms)

50 µArms (50 mArms - 100 mArms)

设置精度 常规 ±(10% + 10 µArms)（测试信号电压 ≤ 20 mArms）

（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，测试频率 > 1 MHz：典型值）

±(10% + 100 µArms)（测试频率 ≤ 300 kHz，

测试信号电流 > 20 mArms）（技术指标）

±(15% + 200 µArms)（测试频率 > 300 kHz，

测试信号电压 > 20 mArms）（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，

测试频率 > 1 MHz：典型值）

恒定1 ±(6% + 10 µArms)（测试信号电压 ≤ 20 mArms）

（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，测试频率 > 1 MHz：典型值）

±(6% + 100 µArms)（测试频率 ≤ 300 kHz，

测试信号电压 > 20 mArms）（技术指标）

±(12% + 200 µArms)（测试频率 > 300 kHz，

测试信号电压 > 20 mArms）（测试频率 ≤ 1 MHz：技术指标，

测试频率 > 1 MHz：典型值）

测试信号电平监测功能

– 可以监测测试信号电压和测试信号电流。

– 电平监测精度：

表 33. 测试信号电压监测精度（Vac）

测试信号电压2 测试频率 技术指标

5 mVrms 至 2 Vrms ≤ 1 MHz ±（读数的 3% + 0.5 mVrms）

> 1MHz ±（读数的 6% + 1 mVrms）

> 2 Vrms ≤ 300 kHz ±（读数的 3% + 5 mVrms）

> 300 kHz ±（读数的 6% + 10 mVrms） 3

表 34. 测试信号电流监测精度（Iac）

测试信号电流2 测试频率 技术指标

50 µArms 至 20 mArms ≤ 1 MHz ±（读数的 3% + 5 µArms）

> 1MHz ±（读数的 6% + 10 µArms）

> 20 mArms ≤ 300 kHz ±（读数的 3% + 50 µArms）

> 300 kHz ±（读数的 6% + 100 µArms）

1. 当自动电平控制功能开启时。

2. 这不是输出值，而是显示的测试信号电平。

3. 当 测试频率 > 1 MHz 且测试信号电压 >

10 Vrms 时的典型值。

22 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料直流偏置信号

表 35. 测试信号电压

范围 –40 V 至 +40 V

分辨率 设置分辨率： 100 µV，有效分辨率：

330 µV ±(0 V - 5 V)

1 mV ±(5 V - 10 V)

2 mV ±(10 V - 20 V)

5 mV ±(20 V - 40 V)

精度 测试信号电压 ≤ 2 Vrms 0.1% + 2 mV (23°C ±5°C)

(0.1% + 2 mV) x 4

(0 至 18°C 或 28 至 55°C)

测试信号电压 > 2 Vrms 0.1 % + 4 mV (23°C ±5°C)

(0.1% + 4 mV) x 4

(0 至 18°C 或 28 至 55°C)

表 36. 测试信号电流

范围 –100 mA - 100 mA

分辨率 设置分辨率： 1 µA，有效分辨率：

3.3 µA ±(0 A - 50 mA)

10 µA ±(50 mA - 100 mA)

直流偏置电压电平监测 Vdc

（读数的 0.5% + 60 mV） × Kt

在使用 Vdc-Idc 测量时：（技术指标）

在使用电平监测时：（典型值）

Kt 温度系数

直流偏置电流电平监测 Idc

(测量值的 A [%] + B [A]) × Kt

在使用 Vdc-Idc 测量时：（技术指标）

在使用电平监测时：（典型值）

A [%] 当测量时间模式为 SHORT 时： 2%

当测量时间模式为 MED 或 LONG 时： 1%

B [A] 在下面给出

Kt 温度系数

当测量时间模式为 SHORT 时，以下值翻倍。

23 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料表 37. 测试信号电压 ≤ 0.2 Vrms（测量时间模式 = MED、 LONG）

直流偏置

电流范围

阻抗范围 [Ω]

< 100 100 300, 1 k 3 k, 10 k 30k, 100 k

20 µA 150 µA 30 µA 3 µA 300 nA 45 nA

200 µA 150 µA 30 µA 3 µA 300 nA 300 nA

2 mA 150 µA 30 µA 3 µA 3 µA 3 µA

20 mA 150 µA 30 µA 30 µA 30 µA 30 µA

100 mA 150 µA 150 µA 150 µA 150 µA 150 µA

表 38. 0.2 Vrms < 测试信号电压 ≤ 2 Vrms（测量时间模式 = MED、 LONG）

直流偏置

电流范围

阻抗范围 [Ω]

< 100 100, 300 1k, 3 k 10k, 30 k 100 k

20 µA 150 µA 30 µA 3 µA 300 nA 45 nA

200 µA 150 µA 30 µA 3 µA 300 nA 300 nA

2 mA 150 µA 30 µA 3 µA 3 µA 3 µA

20 mA 150 µA 30 µA 30 µA 30 µA 30 µA

100 mA 150 µA 150 µA 150 µA 150 µA 150 µA

表 39. 测试信号电压 > 2 Vrms（测量时间模式 = MED、 LONG）

直流偏置

电流范围

阻抗范围 [Ω]

≤ 300 1 k, 3 k 10k, 30 k 100 k

20 µA 150 µA 30 µA 3 µA 300 nA

200 µA 150 µA 30 µA 3 µA 300 nA

2 mA 150 µA 30 µA 3 µA 3 µA

20 mA 150 µA 30 µA 30 µA 30 µA

100 mA 150 µA 150 µA 150 µA 150 µA

表 40. 输入阻抗（标称值）

输入阻抗 条件

0 Ω 以下条件除外。

20 Ω 测试信号电压 ≤ 0.2 Vrms，阻抗范围 ≥ 3 k Ω，直流偏置电流范围 ≤ 200 µA

测试信号电压 ≤ 2 Vrms，阻抗范围 ≥ 10 kΩ，直流偏置电流范围 ≤ 200 µA

测试信号电压 > 2 Vrms，阻抗范围 = 100 kΩ，直流偏置电流范围 ≤ 200 µA

直流电源信号

表 41. 测试信号电压

范围 –10 V 至 10 V

分辨率 1 mV

精度 0.1% + 3 mV（23 °C ±5 °C）

（0.1% + 3 mV） x 4

（0 至 18 °C 或 28 至 55 °C）

表 42. 测试信号电流

范围 –45 mA 至 45 mA（标称值）

输出阻抗

100 Ω（标称值）

24 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料DCR 测量技术指标

直流电阻（Rdc）测量功能在安装 E4980A-001/200 或 E4980AL-032/052/102 后提供。

直流电阻（Rdc）精度

绝对测量精度 Aa

绝对测量精度 Aa 按下式计算

方程式 15: Aa = Ae + Acal

Aa 绝对精度（读数的 %）

Ae 相对精度（读数的 %）

Acal 校准精度

相对测量精度 Ae

相对测量精度 Ae 按下式计算

方程式 16： Ae = [Ab + (Rs /|Rm|+ Go × |Rm|) × 100 ] × Kt

Rm 测量值

Ab 基本精度

Rs 短路偏置 [Ω]

Go 开路偏置 [S]

Kt 温度系数

校准精度 Acal

校准精度 Acal 为 0.03%。

基本精度 Ab

表 43. 基本精度 Ab 在下面给出。

测量时间模式 测试信号电压

≤ 2 Vrms > 2 Vrms

SHORT 1.00% 2.00%

MED 0.30% 0.60%

开路偏置 Go

表 44. 开路偏置 Go 在下面给出。

测量时间模式 测试信号电压

≤ 2 Vrms > 2 Vrms

SHORT 50 nS 500 nS

MED 10 nS 100 nS

短路偏置 Rs

表 45. 短路偏置 Rs 在下面给出。

测量时间模式 测试信号电压

≤ 2 Vrms > 2 Vrms

SHORT 25 mΩ 250 mΩ

MED 5 mΩ 50 mΩ

25 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料电缆长度的效应（短路偏置）

表 46. 当电缆延长时， Rs 中增加以下值。

电缆长度

1 米 2 米 4 米

0.25 mΩ 0.5 mΩ 1 mΩ

温度系数 Kt

表 47. 温度系数 Kt 在下面给出。

温度 [° C] Kt

0 - 18 4

18 - 28 1

28 - 55 4

26 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料表 48. 电源

电压 90 VAC - 264 VAC

频率 47 Hz - 63 Hz

功耗 最大 150 VA

表 49. 工作环境

温度 0 - 55 °C

湿度（≤ 40 °C，无冷凝） 15% - 85% RH

海拔高度 0 米 - 2000 米

表 50. 储存环境

温度 –20 - 70 °C

湿度（≤ 60 °C，无冷凝） 0% - 90% RH

海拔高度 0 米 - 4572 米

外部尺寸： 375（宽度） x 105（高度） × 390（深度）毫米（标称值）

一般技术指标

E4980A

Precision LCR Meter

20 Hz - 2 MHz

LCUR LPOT HPOT HCUR

DC

Bias USB

DC

Source

UNKNOWN

Discharge test device before connecting

42V Peak Max Output CAT I

10VDC Max

DC Source

(Option 001)

Trigger

DC Bias

DC

Source

Return

7 8 9

4 5 6

1 2 3

0 .

Preset

Display

Format

Meas

Setup

Recall A Recall B Save/

Recall System Local/ Lock

55.2 27 22 22 22 40.1

103.8

367.4

14.4 338.6 14.4

41.8

27.3 28.0

55.0

E4980A

Precision LCR Meter

20 Hz - 2 MHz

LCUR LPOT HPOT HCUR

DC

Bias USB

DC

Source

UNKNOWN

Discharge test device before connecting

42V Peak Max Output CAT I

10VDC Max

DC Source

(Option 001)

Trigger

DC Bias

DC

Source

Return

7 8 9

4 5 6

1 2 3

0 .

Preset

Display

Format

Meas

Setup

Recall A Recall B Save/

Recall System Local/ Lock

22 22 22 30.3

18.0

319.1

88.3

21.8

32.0

55.2 27

图 2. 尺寸（正视图，配有把手和缓冲器，单位是毫米，标称值）

图 3. 尺寸（正视图，不含把手和缓冲器，单位是毫米，标称值）

27 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料Option 002: DC Current Control Interface Option 301: Scanner Interface Option 201: Handler Interface

Trigger

GPIB

Serial Label

LAN

115V

-230V

50/60Hz

150VA MAX

Fuse

T3A , 250V

E4980A

Option 710: No Interface Option 710: No Interface

41.6 23.2 27.5

36.5 23.7

106.7

110.9

84.4

317.8

19.6

21.3

12.7 37 22.2

72.3 72.3 24.0

0.4

72.3

36.2

72.3

36.2

72.3

36.2

17.1

20.9

Option 002: DC Current Control Interface Option 301: Scanner Interface Option 201: Handler Interface

GPIB Trigger

Serial Label

LAN

115V

-230V

50/60Hz

150VA MAX

Fuse

T3A , 250V

E4980A

Option 710: No Interface Option 710: No Interface

41.6 23.2 34.7

367.4

17.6 332.2 17.6

118.1

25.5 37 26.6

25.7

23.9

113.9 72.3 72.3 31.1

49.3

55.0 28.0

101.6

0.4

图 4. 尺寸（后视图，配有把手和缓冲器，单位是毫米，标称值）

图 5. 尺寸（后视图，配有把手和缓冲器，单位是毫米，标称值）

28 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料103.8

55.0

101.6

66.6

388.7

141.4

84.4

88.3

21.9 21.9

45.7

347.9 10.5

374.0

15.7

19.7

50.9

说明

有效像素超过 99.99%。可能有 0.01%（大约 7

个像素）或更少的像素丢失或常亮，但这不是故

障。

图 6. 尺寸（侧视图，配有把手和缓冲器，单位是毫米，标称值）

图 7. 尺寸（侧视图，不含把手和缓冲器，单位是毫米，标称值）

重量： 5.3 kg（标称值）

显示屏： LCD， 320 × 240（像素）， RGB 色彩

可以显示以下项目：

– 测量值

– 测量条件

– 比较器限值和判断结果

– 列表扫描表

– 自测消息

29 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料描述 补充信息

EMC

欧盟理事会指令 2004/108/EC

IEC 61326-1:2012

EN 61326-1:2013

CISPR 11:2009 +A1:2010

EN 55011: 2009 +A1:2010

第 1 组， A 类

IEC 61000-4-2:2008

EN 61000-4-2:2009

4 kV CD / 8 kV AD

IEC 61000-4-3:2006 +A1:2007 +A2:2010

EN 61000-4-3:2006 +A1:2008 +A2:2010

3 V/m, 80-1000 MHz, 1.4 - 2.0 GHz / 1V/m, 2.0 - 2.7 GHz, 80% AM

IEC 61000-4-4:2004 +A1:2010

EN 61000-4-4:2004 +A1:2010

1 kV 电源线/0.5 kV 信号线

IEC 61000-4-5:2005

EN 61000-4-5:2006

0.5 kV 线间电压/ 1 kV 线地电压

IEC 61000-4-6:2008

EN 61000-4-6:2009

3 V, 0.15-80 MHz, 80% AM

IEC 61000-4-8:2009

EN 61000-4-8:2010

30A/m, 50/60Hz

IEC 61000-4-11:2004

EN 61000-4-11:2004

0.5-300 次， 0% / 70%

说明：

除非仪表频率与发射的干扰信号测试频率（载频周围的频率以及调

制频率周围的频率）相同，否则在根据 EN61000-4-3 在 3 V/m 条件下

进行测量时，测量精度在整个抗干扰度测试频率范围内都符合技术

指标。

ICES/NMB-001 ICES-001: 2006 第 1 组， A 类

AS/NZS CISPR11:2004

第 1 组， A 类

KN11、 KN61000-6-1 和 KN61000-6-2

第 1 组， A 类

安全

欧盟理事会指令 2006/95/EC

IEC 61010-1:2001/EN 61010-1:2001

测量类别 I，污染度 2，室内使用

IEC60825-1:1994 1 类 LED

CAN/CSA C22.2 61010-1-04

测量类别 I，污染度 2，室内使用

环境

本产品符合 WEEE 指令（2002/96/EC）标识

要求。粘贴此标签即表示请勿将本电气/电子产品丢弃至生活垃圾中。

产品分类：根据 WEEE

指令附录 I 中的设备类型分类，本产品属于“监控

仪器”类别。

30 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料建立时间

表 51. 测试频率设置时间

测试频率设置时间 测试频率（Fm）

5 ms Fm ≥ 1 kHz

12 ms 1 kHz > Fm ≥ 250 Hz

22 ms 250 Hz > Fm ≥ 60 Hz

42 ms 60 Hz > Fm

表 52. 测试信号电压设置时间

测试信号电压设置时间 测试频率（Fm）

11 ms Fm ≥ 1 kHz

18 ms 1 kHz > Fm ≥ 250 Hz

26 ms 250 Hz > Fm ≥ 60 Hz

48 ms 60 Hz > Fm

阻抗量程切换时间在下面给出：

≤ 5 ms/量程切换

测量电路保护

最大放电耐受电压在下面给出。该参数指带电电容器连接至未知端子时, 内部电路的最

大安全电压值。

表 53. 最大放电耐受电压

最大放电耐受电压 被测器件电容值 C 的范围

1000 V C < 2 µF

√ 2/C V 2 µF ≤ C

补充信息

说明

电容器在连接至未知端子或测试夹具前需先

进行放电，以免损坏仪器。

图 8. 最大放电耐受电压

———

0

200

400

600

800

1000

1200

1.E–15 1.E–13 1.E–11 1.E–09 1.E–07 1.E–05 1.E–03

电压 [V]

电容 [F]

31 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料测量时间

定义

这是机械手接口上触发与测量结束（EOM）输出之间的时间。

条件

表 54 显示了满足以下条件时的测量时间：

– 除 Ls-Rdc、 Lp-Rdc、 Vdc-Idc 以外的常规阻抗测量

– 阻抗量程模式：保持量程模式

– 直流偏置电压电平监测：关

– 直流偏置电流电平监测：关

– 触发时延： 0 s

– 阶跃时延： 0 s

– 校准数据：关

– 显示模式：空白

表 54. E4980A 测量时间 [ms]（直流偏置：关）

测量时间

模式

测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 2 MHz

1 LONG 480 300 240 230 220 220 220

2 MED 380 180 110 92 89 88 88

3 SHORT 330 100 20 7.7 5.7 5.6 5.6

图 9. 测量时间（E4980A，直流偏置：关）

20 100 1k 10k 100k 1M 2M

0.01

0.001

0.1

1

10

测试频率 [Hz]

测量时间 [秒]

1. 长

2. 中

3. 短

32 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料表 55. E4980A-005 测量时间 [ms]（直流偏置：关）

测量时间模式 测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 2 MHz

1 LONG 1190 650 590 580 570 570 570

2 MED 1150 380 200 180 180 180 180

3 SHORT 1040 240 37 25 23 23 23

图 10. 测量时间（直流偏置：关， E4980A-005）

表 56. E4980AL 测量时间 [ms]

测量时间模式 测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz

1 LONG 729 423 363 353 343 343

2 MED 650 250 140 122 119 118

3 SHORT 579 149 26 14 12 12

图 11. 测量时间（E4980AL）

20 100 1k 10k 100k 1M 2M

0.01

0.001

0.1

1

10

测试频率 [Hz]

测量时间 [秒]

1. 长

2. 中

3. 短

20 100 1k 10k 100k 1M 2M

0.01

0.001

0.1

1

10

测试频率 [Hz]

测量时间 [秒]

1. 长

2. 中

3. 短

说明

E4980A-005 已废型，不可再订购。

33 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料当直流偏置开启时，增加以下时间：

表 57. 当直流偏置开启时增加的时间 [ms]

测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 2 MHz

30 30 10 13 2 0.5 0.5

当平均数增加时，测量时间按下式计算

方程式 17： MeasTime + (Ave – 1) × AveTime

MeasTime 根据表 53 和 54 计算的测量时间

Ave 平均数

AveTime 参见表 56

表 58. 求平均数时增加的时间 [ms]

测量

时间模式

测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 2 MHz

SHORT 51 11 2.4 2.3 2.3 2.2 2.2

MED 110 81 88 87 85 84 84

LONG 210 210 220 220 220 210 210

表 59. 当选择 Vdc-Idc 时的测量时间 [ms]

测量时间模式 测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 2 MHz

SHORT 210 46 14 14 14 14 14

MED 210 170 170 170 170 170 170

LONG 410 410 410 410 410 410 410

每多一次平均，增加相同的测试时间

当 Vdc 和 Idc 监测功能开启时增加的测量时间。

增加表 59 中的 SHORT 模式。在只使用 Vdc 或 Idc 时，增加表 59 中 Short 模式的一半时

间。

表 60. 当选择 Ls-Rdc 或 Lp-Rdc 时的测量时间 [ms]

测量时间模式 测试频率

20 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 2 MHz

SHORT 910 230 43 24 22 22 22

MED 1100 450 300 280 270 270 270

LONG 1400 820 700 670 660 650 650

每多一次平均，增加表 58 中所增加时间的三倍时间

34 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料显示时间

除了显示空白页的情况，更新每个页面显示所需的时间（显示时间）如下所示。在变更

屏幕时，会增加绘图时间和切换时间。测量显示大约每 100 ms 更新一次。

表 61. 显示时间

项目 当 Vdc、 Idc

监测关闭时

当 Vdc、 Idc

监测开启时

MEAS DISPLAY 页面绘图时间 10 ms 13 ms

MEAS DISPLAY 页面（较大）绘图时间 10 ms 13 ms

BIN No. DISPLAY 页面绘图时间 10 ms 13 ms

BIN COUNT DISPLAY 页面绘图时间 10 ms 13 ms

LIST SWEEP DISPLAY 页面绘图时间 40 ms —

测量显示切换时间 35 ms —

测量数据传输时间

此表显示了下列条件下的测量数据传输时间。测量数据传输时间因测量条件和计算机

而异。

表 62. 在下列条件下的测量传输时间：

主机计算机： HP Z420 工作站， Xeon CPU ES-1620 0 @3.60 GHz

显示屏： 关闭

阻抗范围模式： AUTO（未产生过载。）

开路/短路/负载补偿： 关闭

测试信号电压监测： 关闭

表 63. 测量数据传输时间 [ms]

接口 数据

传输格式

使用 :FETC? 命令

（单点式测量）

使用数据缓冲存储器

（列表扫描测量）

比较器开启 比较器关闭 10 个点 51 个点 128 个点 201 个点

GPIB ASCII 2 2 4 13 28 43

ASCII Long 2 2 5 15 34 53

二进制 2 2 4 10 21 36

USB ASCII 2 2 3 8 16 23

ASCII Long 2 2 4 9 19 28

二进制 2 2 3 5 9 13

LAN ASCII 3 4 5 12 24 36

ASCII Long 3 3 5 13 29 44

二进制 3 3 5 9 18 26

35 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料直流偏置测试信号电流（1.5 V/2.0 V）：输出电流：最大 20 mA

选件 001（电源和直流偏置增强）：

直流偏置电压：应用到被测器件上的直流偏置电压按下式计算：

方程式 18： Vdut = Vb – 100 × Ib

Vdut [V] 直流偏置电压

Vb [V] 直流偏置设置电压

Ib [A] 直流偏置电流

直流偏置电流： 输入被测器件的直流偏置电流按下式计算：

方程式 19： Idut = Vb/(100 + Rdc)

Idut [A] 直流偏置电流

Vb [V] 直流偏置设置电流

Rdc [Ω] 被测器件的直流电阻

最大直流偏置电流

表 64. 当能够进行常规测量时的最大直流偏置电流。

阻抗范围

[Ω]

偏置电流隔离

开启 关闭

测试信号电压 ≤ 2 Vrms 测试信号电压 > 2 Vrms

0.1 自动量程模式：

100 mA

保持量程模式：

适用于此量程的值。

20 mA 100 mA

1 20 mA 100 mA

10 20 mA 100 mA

100 20 mA 100 mA

300 2 mA 100 mA

1 k 2 mA 20 mA

3 k 200 µA 20 mA

10 k 200 µA 2 mA

30 k 20 µA 2 mA

100 k 20 µA 200 µA

当向被测器件应用直流偏置时

当向被测器件应用直流偏置时，绝对精度 Ab 增加以下值

表 65. 仅当 Fm < 10 kHz 且 |Vdc| > 5 V 时

SHORT MED、 LONG

0.05% × (100 mV/Vs) × (1 + √(100/Fm)) 0.01% × (100 mV/Vs) × (1 + √(100/Fm))

Fm [Hz] 测试频率

Vs [V] 测试信号电压

36 | 是德科技 | E4980A 精密型 LCR 表 20 Hz 至 2 MHz、 E4980AL 精密型 LCR 表 20 Hz 至 300 kHz/500 kHz/1 MHz — 技术资料在偏置电流隔离时的相对测量精度

当直流偏置隔离设置为开启时，开路偏置 Yo 增加以下值。

方程式 20： Yo_DCI1 × (1 + 1/(Vs)) × (1 + √(500/Fm)) + Yo_DCI2

Zm [Ω] 被测器件阻抗

Fm [Hz] 测试频率

Vs [V] 测试信号电压

Yo_DCI1,2 [S] 利用表 61 和 62 计算此值

Idc [A] 直流偏置隔离电流

表 66. Yo_DCI1 值

直流偏置电流范围 测量时间模式

SHORT MED、 LONG

20 µA 0 S 0 S

200 µA 0.25 nS 0.05 nS

2 mA 2.5 nS 0.5 nS

20 mA 25 nS 5 nS

100 mA 250 nS 50 nS

表 67. Yo_DCI2 值

直流偏置电流

范围

测量时间模式

≤ 100 Ω 300 Ω, 1 k Ω 3 k Ω, 10 k Ω 30 k Ω, 100 k Ω

20 µA 0 S 0 S 0 S 0 S

200 µA 0 S 0 S 0 S 0 S

2 mA 0 S 0 S 0 S 3 nS

20 mA 0 S 0 S 30 nS 30 nS

100 mA 0 S 300 nS 300 nS 300 nS

直流偏置建立时间

当直流偏置设置为开启时，建立时间增加以下值：

表 68. 直流偏置建立时间

偏置 建立时间

1 标配 被测器件电容 × 100 × loge (2/1.8 m) + 3 m

2 选件 001 被测器件电容 × 100 × loge (40/1.8 m) + 3 m

10 msec

100 msec

1 sec

10 sec

100 sec

1.

2.

1 µF 10 µF 100 µF 1 mF 10 mF 100 mF

被测器件电容

图 建立时间

12. 直流偏置建立时间

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