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专业仪器设备与测试方案供应商——上海坚融实业有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 坚友(上海)测量仪器有限公司JETYOO INSTRUMENTS,为原安捷伦Agilent【现是德KEYSIGHT】品牌技术经理-坚JET与吉时利KEITHLEY【现泰克Tektronix】品牌产品经理-融YOO于2011年共同创办,专注工业测试领域十六年,志在破旧立新!*进口仪器设备大多数厂家仅在国内设销售点,但技术支持薄弱甚至没有,而代理经销商也只做商务,不做售前技术支持/测试方案和售后使用培训/维修校准的空白。我们的技术型销售均为本科以上学历,且均有10年以上测试行业经验,以我们*进*的经营理念,与客户互惠互利合作双赢,重在协助用户采购与技术工程师的工作,提供较有竞争力的供应链管理与售前售后技术支持。坚融实业——一家致力于为祖国用户提供仪器设备、测试方案、技术培训、维修计量全面服务的仪器设备综合服务商。
公司生产的6英寸系列,8英寸系列,10英寸系列、12英寸双轴系列、12英寸双轴全自动系列晶圆划片机、硅片、石英、砷化镓切割机是综合了水气电、高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。主要用于硅集成电路,发光二极管,铌酸锂,压电陶瓷,砷化镓,蓝宝石,氧化铝,氧化铁,石英,玻璃,陶瓷,专注于硅片、铌酸锂、蓝宝石、PCB板、太阳能电池片等材料的划切加工。实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。
应用领域:IC、光学光电、通讯、LED封装、QFN封装、DFN封装、BGA封装
可精密切割材料:硅片、铌酸锂、陶瓷、玻璃、石英、氧化铝、PCB板
特点:
切割清洗一体化;
标配非接触测高功能(NCS);
选配刀痕检测功能;
选配刀片破损检测功能(BBD);
选配工件形状检测功能;
选配数据扫描录入功能;
设备工作流程:
1.下取物臂将待切割材料从晶片盒中取出,将待切割材料放置到预校准台进行预校准,再送到工作盘上,进行划片作业。
2. 上取物臂从工作盘将切割完成的材料移动到清洗盘上,进行二流体清洗和晶片干燥。
3 .下取物臂将切割完成的材料放回预校准台进行预校准,再推回晶片盒中。
使用条件:
1. 请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度40%~60%,保持恒定,无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。
晶圆划片机、硅片、石英、砷化镓切割机规格参数指标
配置与性能 | 加工尺寸 | mm | φ12"∣□275 |
切槽深度 | mm | ≦4mm或定制 | |
主轴 | 转速范围 | min₁ | 6000~60000 |
额定输出功率 | KW | 直流.2.4at60000min₁ | |
X轴 | 有效行程 | mm | 310 |
速度设定范围 | mm/s | 0.1~1000 | |
Y轴 | 有效行程 | mm | 310 |
运动分辨率 | mm | 0.0001 | |
单一定位精度 | mm | ≦0.002/5 | |
全程定位精度 | mm | 0.005/310 | |
Z轴 | 有效行程 | mm | 40 |
最大适用刀片 | mm | φ58 | |
行程分辨率 | mm | 0.00005 | |
重复定位精度 | mm | 0.001 | |
θ轴 | 转角范围 | deg | 380 |
基础规格 | 电源 | kVA | 7.0(三相,AC380V) |
耗电量(参考值) | kw | ||
压缩空气 | Mpa L/min | 0.5~0.6 最大消耗量550 | |
切削水 | Mpa L/min | 0.2﹣0.3 最大消耗量9.0 | |
冷却水 | Mpa L/min | 0.2﹣0.3 最大消耗量3.0 | |
排风量 | m²/min | 800 | |
尺寸W*D*H | mm | 1200*1550*1800 | |
重量 | kg | 2000 |