普发分子泵 HiPace   1200-2300系列涡轮分子泵可以倒装安装，经过实践证明的轴承技术确保了其的可靠性。成熟精湛的转子设计使其具有更出色的抽速，更好的前级泵兼容性和更大的气流量，对于小分子气体具有更高的压缩比。集成可靠的智能传感器系统，HiPace系统当仁不让的成为市场上安全性能非常好的产品。

 普发分子泵 产品优势：

 从1000-2000L/S提供四个抽速等级

 对于小分子量气体（H2 He），和大分子量气体（Ar、CF4）都有很高的抽速

   即便对大分子量气体（Ar，CF4)也有很高的气流量

    安装角度可选0°-90°和90°-180°

   有抗腐蚀性气体型号可选（C型号）

   带节流阀和阀门的集成净化气体系统

   电压范围：90-265V

   界面接口：RS-485，远程控制；Profibus和DeviceNet可选

   获得SEMI S2，UL,CSA和TUV认证

   防护等级IP54符合工业环境应用要求

   最大可能的符合各种工艺流程，能够忍受颗粒物

   普发分子泵应用领域：

                   半导体

                   真空炉

                   质朴分析

                   镀膜、研发

                   工业检漏

           普发分子泵 系列型号： 
 

                  HiPace 1200

                  HiPace   ¹⁵⁰⁰
                  HiPace   ¹⁸⁰⁰
                  HiPace   ²³⁰⁰