DEKTAKXT布鲁克台阶仪/探针式表面轮廓仪）可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术，更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。

DEKTAKXT布鲁克台阶仪/探针式表面轮廓仪）

　　1、使用温度条件：10-30℃；

　　2、台阶高度重现性低于4A

　　3、Single-arch设计提供扫描稳定性

　　4、*的“智能电子器件”设立了新低噪音基准

　　5、新硬件配置使数据采集时间缩短

　　6、64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度高了10倍

　　7、频率，操作简易

　　8、直观的Vision64用户界面，操作简易

　　9、针尖自动校准系统

　1968年台阶仪DektakⅠ面世以来，迄今已有50多年的发展历程。通过整合技术，突破创新，Dektak系列台阶仪已经来到了第十代，目前我们主要有两种型号:桌面式DektakXT（图1），样品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震台一体化的落地式DektakXTL，它的兼容样品可以达到12寸（图2）。布鲁克第十代Dektak产品在过去五十年不断的技术创新，得到众多使用客户的认可。

　　DektakXT是使用single-arch设计的探针轮廓仪，single-arch设计及智能电子器件，大大改善了设备稳定性，进一步提高防震性能。DektakXT在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可低于4Å。使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更加稳固，降低了对不利环境条件的敏感性，如声音和震动噪音。

　　对多用户仪器而言，能快速轻松更换探针以适应不同应用是必要的。Dektak台阶仪的转接头和探针通过强磁吸附进行连接，在探针更换工具的配合下，更换探针简单、方便、易操作（图3）。DektakXT新的针尖自动校准，消除任何潜藏的针尖更换/校准隐患。这一技术让其他困难并耗时的任务变得轻松且快速。为尽量满足使用的要求，Bruker提供了范围广泛的标准和客户定制探针规格，包括用于深沟渠测量的高径比针尖。

　　作为探针式表面轮廓仪核心的部件—传感器，DektakXT采用LVDT传感器原理，即LinearVariableDifferentialTransformer线性可变差动变压器（图4），其优势包括：无摩擦测量、延长机械寿命、提高分辨率、零位可重复性、轴向、坚固耐用、环境适应性、输入/输出隔离。

数据采集和分析速度

　　直接驱动扫描平台，DektakXT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。。