等离子清洗机是利用等离子高能粒子与材料表面发生物理和化学反应，可以实现对材料表面进行激活、蚀刻、除污等工艺处理，以及对材料的摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的。低温等离子清洗机清洁技术应用能消除金属材质、瓷器、塑料制品和玻璃表面的污染物能够有效更改这些表层的黏附强度焊接质量。电离环节易于控制，并且可以安全地使用。

低温等离子处理机是提高产品可靠性和工艺效率的关键。等离子清洗机通过表面活化来提高大多数材料的性能

等离子清洗机的作用-表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面涂覆。等离子清洗机用于光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、晶体和宝石。清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。高分子材料表面的修饰。封装领域中等离子清洗机用于清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

等离子清洗机的激活键能，交联作用：等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

等离子清洗机具有表面清洗和表面活化功能，其实等离子清洗机还有另一个功能：刻蚀。在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图)。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。等离子清洗机用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。等离子清洗机的刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。