湿度、纯度、分解物三种功能亦可两两组合，以满足不同应用场合。具体型号，功能对应如下：

技术指标

SF6湿度：
   测量范围：露点-80～+20℃（支持ppmv等）
   露点精度：±0.4℃（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点）
   响应时间：63％[90％]  +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s] 
   分 辨 率：露点0.1℃或0.1ppm

重 复 性：±0.4℃

气体流量：湿度测量时：0.8～0.9L/min、纯度测量时：0.5～0.7L/min

电子质量流量计

样气流速无影响

压力测量：0～1.0MPa

探头保护：不锈钢烧结过滤网

SF6纯度：

范    围： 0～100% SF6；

精度和重复性： ±0.1%，与流量无关；

响应时间：30S

SF₆分解产物：
H₂S： 0～200ppm 精度：≤±1%；
SO₂：0～100ppm精度：≤±1%；

        CO:   0～500ppm 精度：≤±1%

    HF: 0～10ppm 精度：≤±1%

    灵敏度：0.1 ppm

       重复性：≤±1%

通用部分：

工作电压： 220VAC±10%  50Hz，交直流两用，过充保护，

连续工作不低于5小时

储存温度等级： -40～+70℃

输出接口： USB1.1规范

数据存储：可存储200条记录

操作环境： 温 度： -30～+60℃

压    力： 0～20bar

样气流速： 无影响

其它配置：标准版管理软件，含报表打印，湿度常用转换工具包

尺    寸：132×283×308

重    量：约4.3kg