测量原则

探针法

探针法

输入

感应式滑动测头

感应式滑动测头

测量单元

公制/英寸

公制/英寸

测量范围 mm

350 µm、180 µm、90 µm（自动切换）

350 µm、180 µm、90 µm（自动切换）

轮廓分辨率

32 nm、16 nm、8 nm（自动切换）

32 nm、16 nm、8 nm（自动切换）

过滤器符合 ISO/JIS 标准

相位校正轮廓过滤器，符合 DIN EN ISO 11562 标准；过滤器，符合 DIN EN ISO 13565-1 标准；ls 过滤器，符合 DIN EN ISO 3274 标准（可脱离）

相位校正轮廓过滤器，符合 DIN EN ISO 11562 标准；过滤器，符合 DIN EN ISO 13565-1 标准；ls 过滤器，符合 DIN EN ISO 3274 标准（可脱离）

短行程符合 ISO/JIS

可选

可选

扫描长度符合 ISO 12085 (MOTIF)

1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm

1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm

根据 ISO/JIS 评估长度

1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm

1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm

采样长度数量符合 ISO/JIS

可选：1 至 5

可选：1 至 5

探针

2 µm

5 µm

测量力 (N)

约..0.7 mN

大约 0.7 mN

校准功能

动态

动态

储量

多 15 个轮廓，多 20000 个结果

多 15 个轮廓，多 20000 个结果

其他

锁定/密码保护，日期/时间

锁定/密码保护，日期/时间

防护系统

IP 40

IP 40

可充电电池

锂离子电池

锂离子电池

宽范围电源

100 至 264 V

100 至 264 V

尺寸 (mm)

160 mm x 77 mm x 50 mm

160 mm x 77 mm x 50 mm