型号

SJ-500

SV-2100M4

SV-2100S4

SV-2100H4

SV-2100W4

标准型

(选件)

手动操作

电动驱动

测量范围

Z1 轴 (检出器)

800μm, 80μm, 8μm

X轴

50mm

100mm

直线度

0.2μm/50mm*¹

0.15μm/100mm

分辨力

X轴

0.05μm

Z1 轴 (检出器)

0.01μm (800μm), 0.001μm (80μm), 0.0001μm (8μm)

Z2轴（立柱）

—

—

0.1μm

驱动速度

X轴

0 - 20mm/s 或手动操作

0 - 40mm/s 或手动操作

Z2轴（立柱）

一

手动操作

0 - 20mm/s 或手动操作

测量速度

0.02 - 5mm/s

上下移动量

连接装置: 30mm

350mm

350mm

550mm

评价轮廓

原始轮廓, 粗糙度轮廓, 波形轮廓, DF 轮廓, 粗糙度 motif 轮廓, 波形 motif 轮廓

评价参数

Ra, Rc, Ry, Rz, Rq, Rt, Rmax, Rp, Rv, R3z, Sm, S, Pc, m(rc),δc, mr, tp, Htp, Lo, lr, Ppi, HSC, Δa, Δq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, Ea, Eq, R, AR, Rx, W, AW, Wx, Wte

轮廓分析

阶差 (平均, 大, 小), 圆, 角度, 面积, 坐标值边缘, 倾斜角

分析图表

负荷曲线 (BAC), 振幅分布曲线 (ADC), 功率谱图

曲线补偿

抛物线补偿, 双曲线补偿, 椭圆补偿, 圆补偿, 锥面补偿, 倾斜补偿 (曲面/任意)

滤波

2CR75, PC75, 高斯鲁棒样条

截至波长

λs

0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80, 250μm, 无滤波

λc

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 无滤波

λf

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 无滤波

取样长度

0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80*2mm, 无滤波

LCD规格

7.5" 带背光的TFT液晶显示

内置打印机

高速热敏打印机 (纸宽: 58mm)

记录放大倍率

水平倍率

10X - 500,000X, 自动

垂直倍率

0.5X - 10,000X, 自动

检出器

检出方式

差动电感方式

触针&测力

0.75mN 触针针尖 (锥): 针尖锥角: 60o, 针尖半径: 2μm4mN 触针针尖 (锥): 针尖锥角: 90o, 针尖半径: 5μm

电源

100 - 120V AC ±10%, 50/60Hz

功耗

100 VA

70 VA

140 VA

外形尺寸

主机

425×94×160mm

716×450×863mm

766×482×966mm

766×482×1166mm

1166×482×1176mm

演算显示部

330×270×94mm

电动装置

一

一

372×245×71.8mm

重量

主机

2.7kg

140kg

150kg

220kg

演算显示部

4.0kg

电动装置

一

一

3.0kg