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Huace-6 中端探针台
产品简介：
Huace-6 中端探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
产品特点及应用：
◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等；
◆ 可用于8英寸以内样品测试；
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；
◆ 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动；
◆ 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用；
技术参数：
台体规格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋转 | 可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 4英寸×4英寸/6英寸×6英寸 |
X-Y移动精度 | 10μm/1μm |
样品台Z轴调节 | 可升降10mm |
样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台，zuiduo可放置6个探针座 |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 |
外形尺寸 | 400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高 |
设备重量 | 约20KG |
光学系统 | |
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
移动精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附，真空吸附 |
线缆 | 同轴线/三轴线 |
漏电精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探针 | 弹簧固定/管状固定 |
接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 |
针尖直径 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
针尖材质 | 钨钢；铍铜 |
可选附件：
加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；
屏蔽箱；
光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；
高压测试配件；
显微镜快速倾仰装置；
激光系统；
探针卡夹具；
探针台可根据客户要求定制。
