真空探针台 外置探针臂

半导体封装材料真空探针台产品参数：

腔体

样品台尺寸：2英寸

样品固定：样品固定

观察窗口：2英寸

真空度：10-6 torr

探针臂接口：最多6个探针臂接口

其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：液氮 / 液氦

控制方式：开循环手动

温度范围：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

显微镜

X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm / 1μm

光源：外置LED环形光源 / 同轴光源

CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素

探针座

X-Y-Z 移动行程：X-Y-Z 移动行程

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm / 1μm

探针夹具

线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线

漏电精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定

接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口

探针

射频支持：DC-67GHZ

针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材质：钨钢 / 铍铜

真空组件：分子泵组 / 机械泵

冷源组件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机

外形重量：730mm×750mm×1265mm（长宽高）      约100kg

防震桌参数：

气浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材质:不锈钢 / 碳钢

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔径:M6

平台尺寸（长宽):可定制

平台厚度：50 / 100 / 200mm

固有频率:.5Hz - 2Hz

支撑腿:气浮支撑腿

支撑腿数量:4个 / 6个

支撑腿高度:800mm±10mm

其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制

产品参数：

腔体

样品台尺寸：4英寸

样品固定：样品固定

观察窗口：4英寸

真空度：10-6 torr

探针臂接口：最多6个探针臂接口

其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：制冷机

控制方式：闭循环自动控制

温度范围：4.5K ~ 450K

温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

显微镜

X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm / 1μm

光源：外置LED环形光源 / 同轴光源

CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素

探针座

X-Y-Z 移动行程：X-Y-Z 移动行程

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10μm / 1μm

探针夹具

线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线

漏电精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定

接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口

探针

射频支持：DC-67GHZ

针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材质：钨钢 / 铍铜

真空组件：分子泵组 / 机械泵

冷源组件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机

外形重量：730mm×750mm×1265mm（长宽高）      约100kg

防震桌参数：

阻尼隔振防震桌

隔振方式:高级复合材料隔振

材质:不锈钢 / 碳钢

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔径:M6

平台尺寸（长宽):可定制

平台厚度：50 / 100 / 200mm

固有频率:6Hz - 8Hz

支撑腿:阻尼支撑腿

支撑腿数量:4个 / 6个

支撑腿高度:800mm±10mm

其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制

真空探针台 外置探针臂