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氟化液温度控制单元
氟化液温度控制单元可应用于半导体芯片制造流程中温度控制,或是数据中心、功率器件、航空电子设备中的散热或是热管理。
氟化液是不可燃的绝缘液体,具有工作温度范围宽泛,易于维护、易清洗的特点,是传统冷却液体(如水、水乙二醇或油)的替代品。
氟化液温度控制单元适用于:
半导体行业热管理
半导体芯片和设备冷却
冷板冷却(CPC)
等离子刻蚀
自动化测试
化学气相沉积(CVD)
影印石版术(光刻机)
反应釜夹套温度控制
氟化液温度控制单元具有极宽的温度范围,控温精度高,良好的可靠性和稳定性等特点,可根据项目要求和氟化液性质提供定制化设计方案,包括温度范围/控温精度/外观尺寸/控制方式等
杭州三浦精密仪器有限公司是一家专业的温度控制单元供应商,拥有多个行业温度控制解决方案,致力于提供高效、经济、易于维护的温度控制设备,产品应用领域包括半导体、生物制药、化工、新能源、光伏、新材料等领域