XP-703D半导体特气检漏仪

XP-703D半导体特气检漏仪

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2024-10-14 12:22:47
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常州恒隆仪器有限公司

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产品简介

XP-703D半导体特气检漏仪 特点:

¬ Z适合于检测半导体特气的微量泄漏。

¬ 采用声光报警。

规格:

型 号


XP-703D

检测对象气体


半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理


型半导体式

采样方式


自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)


砷烷 磷烷 乙

详细介绍

 

 

XP-703D半导体特气检漏仪 特点: 

¬  于检测半导体特气的微量泄漏。 

¬ 采用声光报警。 

XP-703D半导体特气检漏仪 规格: 

 

型 号 

XP-703D 

检测对象气体 

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 

检测原理 

型半导体式 

采样方式 

自动吸引式 

可检测浓度 

(单位:ppm) 

砷烷 磷烷  乙硼烷 硅烷 氢气 

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 

检测表示 

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 

应答速度 

10秒以内 

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