简单介绍
*zui灵敏高阻/低电流测量仪器6517A型高阻计/静电计 zui高的电流测量灵敏度1×10-17A；zui高的电阻(率)直接测量能力5×10-17Ω；准确度、灵敏度、功能、价格优于任何其他公司的高阻计/静电计。测量范围：电流(10-17~10-2A)；电压(10-6~102/104V)；温度(-190~1350℃)；电阻(10-1~1017Ω)；电荷(10-15~10-6C)；湿度(0.3%~100%) 主要性能： 输入阻抗大于2×1014Ω； 输入端压降小于20μV； 仪器内部温度湿度补偿； 已备1kV精密程控电压源，zui小步长5mV； 测量数据可作为t,T,H的函数； 六位半弱电流和高阻电压测量分辩率； 小信号带宽100kHz； 直接测体/表面电阻率1018Ωcm,1017Ω/口； 噪声小于7.5×10-16A； 具有十通道测量扩展能力； 快速弱电流测量125点/秒； 多参数同时测量和显示； 带IEEE-488.2接口和RS-232接口； 前放输出(阻抗转换)和模拟输出； zui长可驱动300米电缆； 数据存储(15K,Max),触发联接技术 选   
件： 8009-体/表面电阻率测