ALIO精密运动控制系统概述：

Alio创始于2001年，我们的理念——不断探索更好的方法来满足纳米级运动控制的需求。这个zui初的理念逐步扩展为一条产业链：六轴运动控制系统、气浮导轨系统、机械轴承系统、线性和旋转纳米级系统、高真空系统，广泛应用于半导体、生物医学、印刷、3D打印、光刻、微纳加工、同步辐射加速器等领域。

ALIO 设计和生产的精密运动控制系统使纳米水平的制造和研发成为可能。

一、线性运动系统

　　ALIO致力于纳米精度运动的研究已超过10年。在这些年中，ALIO的工程师们满怀激情，不断开发产品、改进生产技术，现已拥有“6-D Nano Precision?”和“True Nano?”的注册商标。在设计和制造中，ALIO采用了全新且*的技术和组件，解决了传统精密定位产品难以避免的一些问题，产品已通过NIST（美国国家标准与技术研究院）的检测，达到可追溯的纳米级精度。

　　ALIO的线性平台产品在内拥有*的性能和可靠性，仅仅使用机械导轨的平台，其性能已达到竞争者使用气浮导轨平台的水平。当竞争者还在研究二自由度范围的重复性和精度时，ALIO已进入六自由度纳米精度的研究。

ALIO精密运动控制系统

　　ALIO旗下的所有线性平台产品系列均拥有世界1流的性能。为了适合不同的应用，可采用不同的配件组合，如马达、编码器以达到*性价比。

1. 精密交叉滚柱导轨平台的加工及装配拥有ALIO设计。
2. ALIO XY线性系统具有不可比拟的六自由度的性能。
3. 气浮配重的音圈电机在垂直Z轴上的应用。
4. “6-D Nano Precision?”直线电机专为低成本需求设计。
5. 线性压电马达。

二、Hybrid Hexapods混联六自由度精密位移台

　　六轴并联设计zui初被用于游乐设施中，后来又在飞行员培训的飞行模拟器中使用。经过多年的发展，PKM的技术不断更新，延伸至微米精度制造、实验室运动控制需求以及产品检验等领域。尽管现代许多公司叫卖可达纳米级分辨率和重复精度，六自由度纳米精度的真正突破是ALIO的6-D Nano Precision ?。

　　六轴并联台有12个节点或屈曲分别在6个移动线性链接的末端，有同轴及偏轴误差。6个链接一旦整合到六轴并联台中，即使插入正逆运动方程，这个刚性问题也会导致整个系统的误差增大。这所有的误差都将不能使任何的六自由度位移台成为True Nano ? 定位运动平台。路径或直线运动在纳米精度运动中是至关重要的。因此，PKM在三轴并联台的研究中仍具有实际意义。ALIO在过去的12年里设计并改进六轴和三轴并联台，重点在三轴并联台中安装线性轴来提高六轴并联台的精度。ALIO线性马达三轴并联台具有低于10nm重复精度和100nm精度的无限分辨率。在XY线性运动系统上组装成五轴或增加一个旋转来组成完整的六自由度并联精密位移台。ALIO混合六自由度并联精密运动控制系统相较于传统的六轴并联台在精度上具有明显的提高。

　　无论是从现在还是未来来看， 6-D Nano Precision?的产生和发展都是纳米精度系统的自然过程，ALIO混合六自由度精密运动控制系统通过正逆运动实现了简单设计的类六轴运动系统，以G代码编程来解决CAD-CAM的装配问题。

　　ALIO混合六自由度精密运动平台具有可扩展性，可载物100公斤，行程支持从5毫米到1米以上。不论产品尺寸大小， 6-D 运动系统都优于其他产品使之保持在一个精度范围内。该设计与制造的突出特点就是，即使增强工作结构的体积或刚性强度，都能使系统保持直线运动。

　　总之，六轴并联台除了非常适合于处理6-D Nano Precision?的应用，仍有很多其他应用领域。ALIO混合并统将更好的服务于各项应用，特别是True Nano?可用于刚性需求增强的平直度和平整度的机械加工和粘接。

三、并联运动系统

　　ALIO拥有两项并联运动机器人的：1、三轴Tripod（美国号6769194）；2、六轴Hexapod（美国号6671975），该系统取得了革命性的突破，能保证加工工艺和产品检测达到纳米精度。

　　早在2001年，由ALIO设计制造的真纳米Tripod和Hexapod机器人首度面世，并取得。多年以来，ALIO的Hexapod一直都是六轴机器人纳米应用的业界标准。ALIO真纳米Hexapod的运动速度高达250毫米/秒，依然能保证虚拟编程的*中心点的定位精度达到纳米级。该系列产品已奠定下一代自动化纳米定位系统的基石，可满足诸多域诸如光电子、封装、测量测试、微加工、政府、医疗和半导体制造等非常苛刻的应用。

四、气浮导轨系统

ALIO开发的*产品--6自由度纳米定位气浮导轨运动系统，广泛应用在制造、检验、维修和计量等领域。ALIO的气浮产品广泛应用于半导体、航天、喷墨打印、光刻、光学检测、光伏等领域，拥有多项平面和Z轴方面的。

　　ALIO旗下的纳米精密平面气浮导轨系统已将气浮导轨运动的性能提升到一个全新的水准，该系统的目的就是满足和超越当今半导体晶片、平板显示、纳米制造和光学检测等领域对精密定位系统的苛刻要求。

五、Z轴升降运动系统

传统的Z轴楔垂直平台，至少包括复杂的弯角、3套导轨、带联轴器和编码器的电机这些结构件，每个组件都会增加整体误差，严重影响系统整体的精确度。

　　ALIO摒弃这种设计，提供了一系列高精度、高重复性的垂直平台。

六、旋转运动系统

　　ALIO为满足并超越当今高精度旋转运动的需求，ALIO开发了真纳米精度旋转平台。该产品线日渐丰富，我们愿与广大客户合作，提供解决方案，满足客户需求。

七、真空运动系统

      在*科技行业中，要求运动尺度越来越小已成为共同趋势，相应地纳米运动管理更加普及深入。在众多对定位敏感的行业，如光纤、生物医学、微型机械、电子、半导体、能源、光学、航空航天、同步加速器等等，这种趋势是很普遍的。      在纳米精度的真空平台和机器人系统方面，ALIO已积累丰富经验。除气浮导轨系统外，ALIO的其他产品均适用于超高真空环境。用于高真空（10-7托）和超高真空（10-10托）环境的各种平台和系统如线性、旋转、中空XY、Hexapod、Tripod和测角器等，所有的超低出气材料和部件都经过精心准备和烘烤。

      纳米定位应用要求非常苛刻，当运动处于真空下，或要求延长行程、重复性更精细、速度更高、正常运行时间更长、成本更低时，就更增加了复杂程度。

　　要使各组件*而协调地一起工作以达到纳米精度，在加工和选择组件上的挑战不容低估。驱动机构、导轨、反馈系统、运动控制器、运动结构和环境均需要设计完善，以满足在大气或真空环境的纳米精度。真空环境下的挑战会随真空度、定位性能、出气的不同而变化。

八、定制运动系统

　　ALIO用企业的核心技术为OEM客户提供定制化服务，令客户显著增效，同时也促进了新纳米精度应用的推广运用。不仅如此，ALIO不断超越OEM客户的需求，帮助客户成为其行业*。

　　将模型整合去满足甚至超越客户的*需求，在此方面，ALIO有非常丰富的成功案例，并*跟踪服务。因此，ALIO获得众多客户的*青睐。

　　一直以来，ALIO秉承诚实和正直的宗旨，帮助客户理解精密应用的复杂性。ALIO不只是局限于达到客户其所想，更是将相关知识为客户深入剖析，促其升华。