产品简介
OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm，带有滑轨法兰的管式炉，Z高工作温度为1200℃，此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。
详细介绍
OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm，带有滑轨法兰的管式炉，高工作温度为1200℃，此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。
技术参数
炉体结构 | - 炉管尺寸：100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL（石英管）
- 高工作温度为1100℃
- 右端安装有一水冷滑轨法兰，以便于放样和取样
- 在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰
- 左端水冷法兰上有个气体接口，用于客户通入反应气体
 
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电源 | 单相, 220V AC, 50/60 Hz |
大功率 | 3.6KW（需要20A的空气开关） |
加热区 | |
温控系统 | - 采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序
- 采用K型热电偶
- 控温精度：+/- 1℃
- 可选购控温软件，可通电脑来设置和显示温度程序
 
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密封法兰 | 右端法兰： - 水冷却法兰，通过冷却循环水对密封圈进行水冷（可在本公司购买循环水冷机）
- 法兰上有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接
- 炉体内的样品台与法兰相连接，并且右端法兰为滑轨法兰，以便于放样和取样
- 法兰上安装有一数显防腐真空计（如下图）
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净重 | 100kg |
尺寸 | - 右端法兰关闭时的尺寸：1220mm×458mm×585mm（48"L X 18"W X 23"H）
- 右端法兰打开时的大尺寸：1676mm×458mm×585mm（66"L X 18"W X 23"H）
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质保 | 一年质保期，终身维护（不包含炉管、密封圈和加热元件） |
质量认证 | - 质量认证
- 所有电器元件（输入电压>24V）都通过了UL认证
- 本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证
 
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注意事项 | - 炉管内气压（相对气压）需小于0.02MPa
- 所用气瓶上必须安装减压阀（可在本公司购买减压阀）
- 当设备温度高于1000℃时，炉管内部不可处于真空状态，需处于常压或微正压状态
- 进气流量需小于200sccm
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