品牌
代理商厂商性质
上海市所在地
| 输入电源 | AC 220V , 50/60 Hz, |
| 大射频功率: 100 W | |
| 真空泵功率: < 500W | |
| 总功率: < 600W | |
| 射频功率 | 射频功率可在 0 - 100W之间调节 |
| 射频: 13,56 MHz | |
| 可以与本公司工作人员采用300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验 | |
| 等离子腔体 | 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体 |
| 铝制折叠式法兰来进行真空密封 | |
| 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口 | |
| 控制面板 | 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. |
| 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量 | |
| 真空泵 | 仪器中包括一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。 |
| 极限真空度为50mTorr | |
| 通入气体 | 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） |
| 可选 | 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片 |
| 可选购2-4通道质子或浮子混气系统 | |
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| 外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
| 质保期 | 一年质保期，终生维护 |
