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TH-135-10P -135℃水汽捕集泵
TH-135-10P -135℃水汽捕集泵
-135℃水汽捕集泵，超低温捕集泵，深冷泵，循环水汽冷冻机POLYCOLD
-135℃ Water vapor cryopump
应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上+选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
型号 | TH-135-3P | TH-135-5P | TH-135-7P | TH-135-10P | TH-135-12P | TH-135-15P |
压缩机功率(KW) | 2.8 | 4.6 | 6.3 | 8.5 | 10.1 | 12.3 |
工作温度（℃） | -100℃至-140℃ | |||||
抽气速度（l/s） | 30600 | 51000 | 73000 | 101000 | 153000 | 250000 |
制冷量（W） | 300 | 500 | 1200 | 1800 | 2500 | 3500 |
冷凝管表面积(m2) | 0.15 | 0.3 | 0.5 | 0.7 | 1.0 | 2. 0 |
冷凝管长度 | 8m,φ6mm | 10m,φ10mm | 12m,φ12mm | 14m,φ16mm | 24m,φ16mm | 40m,φ16mm |
预冷时间（min） | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤30 | ≤40 | ≤40 |
降温时间（min） | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤7 |
除霜时间(min) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
再降温时间(min) | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤6 | ≤6 |
适用油扩散泵径（mm） | ≤300 | ≤500 | ≤800 | ≤1000 | 双路输出 | 双路输出 |
冷却方式 | 风冷、水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | 水冷(t≤30℃) | |
适用腔体直径（mm） | ≤900 | ≤1300 | ≤1500 | ≤1700 | ≤2000 | |
