EX3自动椭圆偏振测厚仪

特点:

消光法椭偏测量原理

仪器采用消光法椭偏测量原理，易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

方便安全的样品水平放置方式

采用水平放置样品的方式，方便样品的取放。

紧凑的结构

集成设计，简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连，方便仪器使用。

高稳定性光源

采用半导体激光器作为探测光的光源，稳定性高，噪声低。

丰富实用的样品测量功能

可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率等。

便捷的自动化操作

仪器软件可自动完成样品测量，并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。

安全的用户使用权限管理

软件中设置了用户使用权限（包括：管理员、操作者等模式），便于仪器管理和使用。

可扩展的仪器功能

利用本仪器，可通过适当扩展，完成多项偏振测量实验，如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用领域:

EX3适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EX3可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

EX3自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏”）测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。与EM22仪器相比，该仪器采用半导体激光器作为光源，稳定性好，体积小。
EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量，以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。
EX3仪器还可用于同时测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。