高温双电测四探针方阻测试仪使用说明

高温电阻率测试系统 采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征

高温双电测四探针方阻测试仪

1.方块电阻范围：10^-5～2×10⁵Ω/□

2.电阻率范围：10^-6×10⁶cm

3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.电流精度：±0.1%读数

5.电阻精度：≤0.3%

6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

7.测试方式: 双电测量

8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）

10. zui高温度： 1200℃可调节；冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C

11、升温速度：9999分钟以内自由设定,一般10分钟内即可升到900℃；功率：3kw.

12、炉膛材料：采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征。

13.测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！

高温双电测四探针方阻测试仪使用说明

适用行业：

用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.

操作步骤及流程

5.1.本机可以依据不同测试产品选择配置不同的测试治具，以下举例操作说明

5.1.1.在开机界面按下按键板上的“显示”键，进入测量界面。如图1

5.1.2 如图2，在液晶显示屏右侧有4个蓝色功能按键，当测材料电阻率时，请选择 “材料”按键 ，进入材料测试主界面.  

5.1.3.在该界面下通过按下按键板上的上下左右键，可以移动蓝色光标选择相应的参数。如图2，将移动到某一参数的位置，按下“设置”键，光标将变为深蓝色。此时通过上下左右键和数字键可以对相应的参数进行设置，设置完毕后按“确定”键返回。

5.1.4.如图3接线方式，把主机与夹具连接线，连接好并固定住，

5.1.5.取试样，试样试验前的处理依据标准进行，

3.1.6.把样品放于固定治具夹口内，把HD和LD接口分别与治具接口连接（不分顺序）如图3；另外两个接口与探头接线位置连接，后，放入被测样品，输入高度数据（为探针之间的间距），其他数据为样品本身尺寸。

5.1.7.试样固定住后，加压探头探针至被测样品表面，带数据稳定后读数.

5.1.8. 按下“放大”键对应的按键可以对当前界面的测量数据进行放大

5.1.9. 待参数设置完毕，开始测量，把测试获得的数据写入试验报告中

5.1.10.以下设置和功能属于配置操作软件机型使用，如您购买的无电脑操作软件的话，请勿设置.

5.1.11.接口：可选择“USB”和“232”两种模式。根据用户使用的接口类型进行选择。

测试功能：可选择：“RρK”（显示电阻，电阻率，电导率），“R”（只显示电阻），“ρ”（只显示电阻率，“K”（只显示电导率）3种显示模式。

4.5.高温四探针治具及样品放置操作

4.5.1通过升降平台降旋转手柄将高温四探针治具从高温箱体升起至箱体外部，并通过旋转手柄旁边的锁扣，固定住四探针高温平台；注意操作时，在锁住平台时，手不能松开旋转手柄，锁扣一定要锁牢固，以防平台快速下滑而损伤.

4.5.2.将准备好的试样放置在测试平台上，并分别旋转四根探针固定旋钮，至探针与样品接触即可，注意：探针与样品接触即可，不得接触后在用力旋转探针，可能会压迫样品或者损坏探针.

4.5.3.将固定好样品的四探针平台下降至高温箱体中，松开锁扣时，手握住旋转手柄，慢慢旋转至四探针平台*与高温箱体吻合即可，并使用螺丝固定住平台板的四脚，注意：螺丝只需要相对固定即可，不需要大力锁死，平台本身有足够的重量，故轻微锁住平台板.

4.5.4.在设定好的电阻率测试仪及高温温度后，在软件设定所需要设定参数数据，即可.

4.5.5.PC软件的操作说明与软件配套在一起，在软件安装后可以在软件包解压后查看阅读.