四探针测试仪

 功能描述Description：

1. 四探针组合双电测量方法

2. 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.

3. 集成电路系统、恒流输出.

4. 选配：PC软件进行数据管理和处理.

5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择

参照标准：

1.硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

双电组合测试方法：

利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，解决样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，适用于斜置式四探针对于微区的测试。