API新型XD激光干涉仪

API新型XD激光干涉仪简介：

API XD激光干涉仪可以一机两用（干涉仪和自准直仪），同时一次安装可以测量(定位精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角）5-6个参数。API激光干涉仪在不影响仪器使用精度和功能的情况下，对传统激光干涉仪繁琐的光路调整与复杂众多的附件进行了改变。

API技术参数--五维（XD-5D）：
1. 线性精度：0.5ppm
2. 测量范围：40米（1维可选80米）
3. 线性分辨力：0.001um
4. 直线度精度：（1+0.2/m）um或1%显示值
5. zui大测量范围：+/-500um
6. 直线度测量距离：0-40m
7. 偏摆角和俯仰角精度：（1.0+0.1/m）或1%显示值
8. zui大测量范围：+/-800角秒
9. 垂直度精度：+/-1角秒
10. 温度精度：0.2摄氏度
11. 压力精度：1mmHg