质量流量计
型号：5850E
仪器资料：
流量范围3Sccm~30Slpm
zui大的入口压力150psig（Max1500psig）
操作压力正常范围5~50psid
控制范围50~1
准确选择（类比）±1.0%ofF.S
线性InAccuracy
重复性±0.25%ofF.S
反应时间Flowsignal:<0.3sec
温度系数±0.1%F.S/°C（N2）
正常的工作温度范围5°Cto65°C
输入电压±15VDC350mA
类比输入/输出信号0~5Vdc
连接器类型15-pinD-sub
本体材料和封条类型SS316L&Viton,Buna-N,Kalrez
漏率标准1*10¯9atmscc/secHe
管路接头型式1/4"VCR,1/4"SWG
1/4"VCO,3/8"SWG
流量在30L/MIN以下都可以的
