日本三丰mitutoyo218系列超级轮廓测量仪
CV-3000CNC,CV-40

X1 轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

检测方法: 反射型线性编码器

0 - 60mm/s （操纵杆）

测量速度: 0.02 - 2mm/s

测量方向: 向前／向后

直线度: 2μm / 200mm

* 以X1 轴为水平方向上

指示精度 (20ºC 时): ±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),

±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)

* L = 驱动长度 (mm)

a 轴

倾斜角度: -45º (CCW) - +10º (CW)

分辨率: 0.000225º

倾斜范围: 1rmp

Z2 轴 (立柱)

垂直移动: 300mm 或 500mm

分辨率: 0.05μm

检测方法: 反射型线性编码器

0 - 60mm/s (操纵杆)

基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm

基座材料: 花岗岩

Z1 轴 (检出器)

测量范围: ±25mm

分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),

0.05μm (CV-4000CNC)

检测方法: 线性编码器 (CV-3000CNC)

激光全息光栅尺 (CV-4000CNC)

指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)

(20ºC 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)

*H 为水平位置上的测量高度 (mm)

测针上／下运作 : 弧形运动

测针方向: 向上／向下

测力: 30mN

跟踪角度: 向上: 70º, 向下: 70º (根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖: 25μm, 硬质合金针尖

日本三丰mitutoyo218系列超级轮廓测量仪

CV-3000CNC,CV-40

Y 轴

测量范围 : 200mm

分辨率 : 0.05μm

0~60mm/s (操纵杆控制模式)

直线度 : 2μm/200mm

指示精度 (20ºC): ±(2+2L/100)μm

L = 任意两点间的长度 (mm)

重量: 240kg, 250kg (高立柱型)

(Y 轴工作台与振动隔离站的重量除外)

电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 500W (仅限主机)