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WJ1-SGC-I椭圆偏振测厚仪
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北京东目仪器有限公司
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※ 测量范围 1nm-300nm
※ 测量zui小值 ≤1nm
※ 入射角 30°- 90° 误差≤0.1°
※ 偏振器方位角读数范围 0°- 180°
※ 度盘刻度 每格2度
※ 游标zui小读数 0.05°
※ 光学中心高度 152
※ 工作台直径 ?70
※ 外形尺寸 730*230*290
※ 主机重量 20kg
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