diener真空等离子清洗机

Femto RIEdiener真空等离子清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-04-09 07:48:35
2494
属性:
产地类别:进口;应用领域:化工;外形尺寸:W560?x?D600?x?H860mm;电源:AC230?V?/?16?A;真空泵:排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa;工艺气路:单路,双路,三路;工艺气体:O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1;
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产品属性
产地类别
进口
应用领域
化工
外形尺寸
W560?x?D600?x?H860mm
电源
AC230?V?/?16?A
真空泵
排气速度不小于4m3/H,?极限真空度小于10Pa
工艺气路
单路,双路,三路
工艺气体
O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1
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上海尔迪仪器科技有限公司

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产品简介

diener真空等离子清洗机Femto RIE表面清洗
适用6寸以下样品的处理
用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
配置自动/手动模式,实现控制高机能
桌上型,省空间
适合于研究院、高校、研发中心使用

详细介绍

diener真空等离子清洗机/低压等离子系统,适用于等离子清洗、活化、蚀刻及涂层

德国Diener electronic成立于1993年,是一家专门研发和制造低温低压等离子清洗机、等离子射频电源和大气(常压)等离子清洗机的高科技企业。

diener真空等离子清洗机用途:

·适用6寸以下样品的处理
·用于硅片、玻璃、塑胶材料表面的处理
·配置自动/手动模式,实现控制高机能
·桌上型,省空间
·适合于研究院、高校、研发中心使用

特点:

表面清洗活化
表面蚀刻

可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序;不会对操作人员的身体造成任何伤害;其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

参数:


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