控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路或三路气体

工艺气体

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体

单体导入

H2O，亲疏水涂层等单体（选配）

流量计

针阀流量计（防腐蚀）

MFC流量计（防腐蚀）

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃/石英

盖子门/铰链门带观察窗

不锈钢

盖子门/铰链门带观察窗

铝合金

铰链门

圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm

150×320(600) *1

130×300( 600) *1

—

方形腔体内尺寸  （W×D×H）mm

—

160×325( 600) *1×160mm

150×325（600）*1×160

容积

5.6L~10.6L

8L~15L

7.8L~14L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器*

40 kHz     0-200W

100 kHz    0-500W

13.56 MHz  0-50W 或者 0-100W 或者0-300W

2.45 GHz   0-300W

真空压力计

指针式压力计

皮拉尼数字式压力计

计时器

模拟数字式

数字式

托盘

高硼硅玻璃，石英，不锈钢，铝合金

外形尺寸（WXDxH）mm

560x600-750x460-860mm

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度不小于8m3/H