控制系统

手动控制

PCCE 控制系统

工艺气路

双路或三路气体

工艺气体

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体

单体导入

H2O，亲疏水涂层等单体（选配）

流量计

针阀流量计（防腐蚀）

MFC流量计（防腐蚀）

真空

腔体

材质

高硼硅玻璃/石英

盖子门/铰链门带观察窗

不锈钢

盖子门/铰链门带观察窗

铝合金

铰链门带观察窗

圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm

95×280( 600)

100×278( 600)

—

方形腔体 内尺寸 （W×D×H）mm

—

103×285( 600)×103 mm

110×300( 600) ×120

容积

2 L~4.2L

2.2L~6.4L

4L~8L

电极

360度外置环绕电极

平行平板电极

发生器*

40KHz     0~100 W

100KHz    0-500W

13.56MHz  0~50 W 或者0~300 W

2.45GHz   0-300W

真空压力计

指针式压力计

皮拉尼数字式压力计

计时器

模拟数字式

数字式

托盘

高硼硅玻璃/石英，不锈钢

外形尺寸（WXDxH）mm

310-560x420-600x330-860mm

电源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排气速度不小于4m3/H