X射线光电子能谱仪ESCALAB Xi+是研发出的一款基于ESCALAB 250Xi产品后，具有可扩展功能、多种分析技术集成化的测试手段。该产品通过的灵活性、完备的专业配置选项、直观的软件操作以及硬件配置，带给用户的是的的实验结果和生产力。强大的Avantage数据系统提供系统控制、数据采集、数据处理与系统运行报告等一站式服务。

分析性能

 ●表面元素定性、定量分析

 世界的能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现了的能量分辨率

 ●快速高分辨平行成像

化学成像: 空间分辨率优于1um

回溯成谱: 回溯区域优于6um

 ●无需背底修正探测器

 电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成  像的需求。

 空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，同时所得数据无探测器背底特 征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。

 ●微聚焦单色源

 分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调

 的灵敏度和能量分辨率

 提供不少于20个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换

 ●自动化高效离子剖析源

新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究

 ●高精确度角分辨XPS

软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性

全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算

 ●一键式荷电补偿

配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启。

适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和

 ●强大的Avantage分析软件

全数字化仪器控制

系统软件可视化操作

全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库

自定义数据采集到报告生成模式

X射线光电子能谱仪操作简便

 ●高度自动化

分析区域和角度分辨可选

自动化气体调节和真空控制

 ●随时校准

能量标尺和仪器功函数的校准

离子枪定位和离子束聚焦

 ●鼠标点击式样品导航

实时显示分析位置

高照明强度、强度可调

设计灵活

 ●ISS、ARXPS与REELS为标准配置

 ●多功能进样室为标准配置

 ●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选

 ●可选的样品预处理附件，包括：

  1.样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器；

  2.样品加热/冷却装置；

  3.溅射清洁离子枪；

  4.蒸发器；

  5.高压反应室