密析尔高纯度在线露点变送器pura

密析尔高纯度在线露点变送器pura

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2018-05-15 17:22:07
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产品简介

在很多超纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作至关重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者昂贵的分析技术。然而密析尔仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至惊人的-120°C (相当于不到 1 ppbV)。
密析尔高纯度在线露点变送器pura

详细介绍

 密析尔高纯度在线露点变送器pura

Pura

密析尔高纯度在线露点变送器pura

技术指标

传感器
传感器类型密析尔陶瓷湿度传感器
量程-120 ~ -40°C 露点 (校验到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
压力zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa
气体流量1 ~ 5 Nl/min
电气
电源通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大电流 25 mA
输出4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程从 1 ~ 80°C (标配提供)
zui大负载 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8)
输出出错状态标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
机械性能
传感器套筒不锈钢, 0.1-0.2 Ra µm 电镀内抛光
气路连接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安装配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 长, 气路端口的端面密封. 无需预留管路空隙
底座上有 2 个 M4 x 0.7, 7mm 深的安装孔, 斜对面横竖间距均为 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 适用于用户提供的 ½" VCR 端口中
尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包装Pura: 双层包装, 惰性气体填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 单层包装
所有选配件: 独立包装运输
Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操作
 

 

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