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MTM-1510M金相显微镜用途:
MTM-1510M测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器,它具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜,以二维测量为主,也可作三维辅助测量。广泛应用于电子组件,精密模具,精密刀具,塑料,PCB加工方面,测镀膜厚度,手机玻璃等工业领域。
MTM-1510M金相显微镜特点:
1.X、Y、Z三轴0.5um分辨率;
2.具Z轴粗调/微调旋钮;
3.同轴表面光/底光量测;
4.内建偏光量测光学模块;
5.可量测透明材质纳米级高度差;
6.可选配白光纳米检测模组。
技术规格参数:
型号:MTM-1510M
工作台 金属台尺寸(mm):210*160
玻璃台尺寸(mm):354*228
X、Y运动行程(mm):150*100
X、Y、Z向分辨率(um): 0.5
X、Y坐标示值误差(um): 2.5+L/100
外形尺寸(mm):590*560*850
仪器重量:100kg
Z向行程(mm):120
物镜放大倍数:5X 、10X 、20X 、50X
目镜放大倍数:10X
总放大倍数:50X-500X
物镜放大倍率误差:包括畸变在内的放大率误差:≦0.08%
透射照明光源:可调高亮度LED灯源
反射照明光源:可调高亮度LED灯源
单层透明膜厚度测量模组
高精度测量模式
厚度测量范围 100nm-300nm 300nm-500nm 500nm-3um
分辨率 5nm 5nm 7.5nm
快速测量模式
厚度测量范围 3um-20um
分辨率 0.1um