Parker派克930系列1-1 / 8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性，高循环使用寿命和低颗粒发生，非常适用于UHP半导体应用。

　　Parker派克930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计，可大限度地减少颗粒产生和截留，减少半导体应用中闭不可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计，控制阀座和隔膜应力，以提供稳定和免维护的使用寿命。930系列阀门润湿部件由特种金属制成，提供桌越的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的Vericlean™ 316L不锈钢材质。 Vericlean™ 是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。 930系列还提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮树脂（PEEK®）和聚酰亚胺（Vespel®）材质的阀座，可使930阀门与多种工艺流体相兼容。这些材料结合930系列严格的设计特点，给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命。

　　Parker派克930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关，用以提供开 - 关位置指示。还有多种阀体构造可选，包括930Y系列（Y型阀）和SM930系列（面板安装）。

　　Parker派克930系列阀门上内部（阀座）密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试，以适应在苛刻的UHP应用中，保有其性能和稳定性。

　 Parker派克930系列UHP半导体隔膜阀市场：

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　　★半导体

　　★分析实验室

　　★制药

　　★生物制药

　　★航空航天

　　★工业

　　Parker派克930系列UHP半导体隔膜阀特点与优势：

　　★电抛光表面光洁度：5微英寸（Ra）

　　★高循环使用寿命（包括耐腐蚀性服务）

　　★内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留

　　★全压力范围使用:从真空到300 psig

　　★内部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He

　　★外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He

　　★AOP驱动，额定压力为75 psig

　　应用：

　　★腐蚀性气体和特种气体

　　★半导体工具

　　★工具连接

　　★燃气柜

　　★阀组箱（VMB）

　　Vespel? 是杜邦高性能弹性体L.L.C.公司（DuPont Performance Elastomers L.L.C.）的注册商标。

　　VeriClean? 是派克汉尼汾公司（Parker Hannifin Corporation）的商标

　　PEEK? 是威格斯公司（Victrex plc）的商标。

　　Parker派克930系列UHP隔膜阀相关型号：

　　930AOPLP1NCSFSFM

　　930AOPLP1NCSFSMF

　　930AOPLP1NCSFSMM

　　930AOPLPNOSFSMF

　　930AOPLPNOSFSMM

　　930ISFSMF

　　930ISTSM

　　930KSFSFMM

　　930KSFSMFM

　　930KSFSMMM

　　930LPHYSFSFFH

　　930LPHYSFSFMH

　　930LPHYSFSMFH

　　930LPHYSFSMMH

　　930LPHYSTSH

　　Parker派克930系列半导体隔膜阀