SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位， 它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。

SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动，运无需润滑，百分真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。

三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。

• 主要参数

▲ 兼容性：适配多种钨灯丝、场发射SEM，保证电镜安全性

▲ 探针驱动方式：PZT压电陶瓷

▲ XYZ行程：XY轴行程≥±10mm，Z轴行程≥10mm

▲ 细调行程：3um

▲ 细调最小步长：≤1nm

▲ 控制模式：开环/闭环

▲ 探针数量：最多支持8探针

▲ 制冷系统（选配功能）：热台200℃；冷台-60℃（TEC）；冷台-170℃（液氮）

• 主要配置

压电探针台、压电三轴位移控制器、PC+软件（闭环选配）、压电冷台（选配）、手提箱、源表（选配）、制冷系统（选配）、定制适配电镜法兰、工具附件等

• 产品特点

▲ 结构紧凑，高刚性

▲ 零间隙，高精度柔性铰链导向系统 

▲ 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命

▲ 内部根据需求可增加位置反馈 

▲ 应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等

▲ 适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等

• 应用案例

电容样品测试

电容样品测试

碳纤维测试

器件测试

薄层材料测试