蔡司X射线显微镜 Xradia 515 Versa 是一款具有高性能和广泛应用的先进显微镜。

一、性能特点：

· 高分辨率成像：该显微镜具有 500nm 的真实空间分辨率，最小可实现 40nm 的体素，可提供亚微米级的成像精度，能够清晰地呈现样品的微观细节

· 大工作距离下的高分辨能力：采用两级放大架构，即光学放大和 X 射线几何放大，减少了对单级几何放大的依赖性，在大工作距离下依然保持亚微米级分辨率，可实现不同类型、尺寸的样品多尺度成像，无需对样品进行复杂预处理或切割

· 多种衬度成像模式：支持吸收衬度和创新的相位衬度成像模式，可实现对软材料或低原子序数材料的 3D 成像，能够更好地突出样品的内部结构和特征，为不同类型的样品提供了更丰富的成像选择

· 智能系统控制：配备了智能防撞系统，如 ZEN navx 等用户导向的控制软件，具有人性化的界面与流程设计，可将复杂操作即刻化繁为简，确保仪器操作的安全性和便捷性，同时还具备全自动的参数推荐功能，可确保不同类型的样品均能获得高质量图像

· 基于AI的高级重构技术：兼容 ART 高级重构工具箱，利用 AI 技术提高成像效率和改善成像质量，能够对图像进行降噪、增强对比度等处理，使图像更加清晰、细节更加丰富，同时还能提高数据处理和重构的速度，缩短研究周期

· 可升级与拓展性：具有良好的可升级和拓展特性，用户可根据自身需求选择原位接口、4D 原位试验平台、迭代重构、自动进样装置、平板探测器等多个拓展模块，满足不同的研究和应用需求，保护用户投资

二、技术参数

· X射线源：最高工作电压 160kV，最大功率 10W1.

· 探测器：光电耦合物镜探测器，配备多种物镜，其中物镜 0.4X 的最大三维视野 50mm，物镜40X最高空间分辨率 500nm1.

·最大可测样品尺寸：φ300mm×450mm1.

·原位测试力值：最大 5KN，轴向位移最大10mm，轴向位移速度 0.1mm/min -1mm/min1.

·原位拉伸试验台的温度范围：﹣20℃ ~﹢160℃1.

三、应用领域：

· 材料科学：可用于电池、金属、陶瓷、高分子、混凝土等材料的三维无损分析，如观察软复合材料中的裂缝、测量钢材中的孔隙率等，还可用于材料拉伸或压缩断裂行为和加热试验的原位表征，为材料的研发、质量控制和性能优化提供重要依据

· 生命科学：适用于动植物组织的微观结构三维成像，如实现虚拟的组织学切片观察，对细胞和亚细胞特征进行可视化，还可用于探究硬组织和软组织以及生物的微观结构，为生命科学研究和医学诊断提供有力支持

· 地球科学：在地质、油气、矿物、古生物等领域的三维成像方面具有重要应用，可用于表征岩心尺度上的非均质性，并对孔隙结构进行量化，还可进行流体流动测试、纹理分析等，有助于更好地了解地球内部结构和矿产资源分布等124.

· 电子和半导体行业：能够对电子器件进行形貌测量及失效分析，如对完整封装进行无损亚微米成像来进行缺陷定位和表征，从而优化工艺开发并进行失效分析，还可用于研究封装的可靠性，为电子元器件和半导体芯片的质量检测和故障诊断提供重要手段