Honeywell/霍尼韦尔 品牌
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AWM2000系列为无源器件,包含两个惠斯顿电桥:一个为闭环的发热 控制电路,一个为双传感电路,图 1,2 为用户需外加电路,图 3 为推 荐的输出信号放大电路。
图1电路为发热控制电路,通过保持恒定的发热温度与变化的外界温度 之差减小由于外部温度变化引起的误差,外界温度由芯片上相似的负温 度系数电阻测得,这种模式还能减少由于气体浓度及成分变化产生的影响,这种变化可以改变热传导及传感元件的工作特性。
图 2 为传感桥供电电路,传统的惠斯通电路,传感器内含的传感元件组成了桥路的两个动态臂,输出电压随电源变化,当气流方向变化时,输出的电压极性也发生变化。
图3是一个实用的传感器接口放大电路,提高增益及调节输出电压的偏置
特点:
* 双向气流传感
* 实际气体质量流量传感
* 流速 0~30sccm 到 0~1000sccm
* 需另加发热器控制及传感桥路供电电路