角分辨散射仪的应用特点解析
时间：2024-03-28 阅读：611
角分辨散射仪是一种重要的分析仪器，它可以用于研究材料的晶体结构、表面形貌和界面结构等方面。可以用于研究金属表面的结构和磁性，以及纳米材料的结构和性质等。此外，还可以用于研究生物大分子的结构和功能，例如蛋白质、核酸等。可以提供样品表面形貌、结构和成分等信息，对于材料和生物大分子的研究具有重要的意义。利用入射的高能电子或中子束与材料中原子核或电子的相互作用，通过测量散射电子或中子的角度分布和能量分布来确定材料的结构信息。
使用光学的办法来测量光刻胶图形的线宽等几何尺寸的仪器称为散射仪。散射仪(scattermetry)的工作原理是：一束光入射在晶圆表面，晶圆表面的光刻胶图形对入射光产生散射和衍射，这些含有表面结构信息的光被探测仪接收。对探测仪器接收的信号做分析，得到晶圆表面光刻胶图形的三维尺寸。
角分辨散射测量系统-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)简易型散射仪 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
特点：
• 体积小，速度快: 测试时间<1s
• 非接触式2D/3D测量
• 高灵敏度/低噪声：Rq<0.5nmt
• 高动态范围≧1013
• 可与轮廓仪直接相连并比较测量结果