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激光测厚仪技术参数: | |||
型号 | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
测量范围(n=1.5) | 12μm to 3.3 mm | 12µm to 12 mm | 12µm to 35 mm |
测量层数 | 1 | 20 | 20 |
绝对精度 | ±1μm | ±0.1µm | ±0.1µm |
重复精度 | 1μm 1σ | 0.1µm 1σ | 0.1µm 1σ |
扫描速率 | 50Hz | 50Hz,100Hz 和200Hz可选 | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED | 1310nm SLED | 1310nm SLED |
45nm wide | 45nm wide | 45nm wide | |
测量头工作距离 | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm |
光纤长度 | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m |