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泵 (FPD用电动CT泵)
在要求均一涂膜的液晶、PDP、有机EL等基板用涂胶对应电动泵。高信赖的CT泵构造更加进化、能够控制定流量。大吐出量：30ml、60ml、100ml、200ml、可以根据顾客基板的尺寸结合用途选择泵。
 

电动CT泵F-EPT系列F-EPT30型
●适合于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.05MPa      3～30         0.05～3

电动CT泵F-EPT系列F-EPT60型
●适合于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.05MPa             6～60            0.05～5

电动CT泵F-EPT系列F-EPT100型
●适合于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.05MPa            10～100            0.05～5

电动CT泵F-EPT系列F-EPT200型
●适合于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.05MPa      20～200            0.1～15

电动CT泵F-EPT系列F-EPT300型
●适合于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.05MPa            30～300            0.1～12

电动CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型
●膜片、波纹管之后，采用了全新构造的定量排出泵 
●使用液体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.15MPa      0.5～6       0.1～4

电动CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型
●膜片、波纹管之后，采用了全新构造的定量排出泵 
●使用液体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）
大吐出压力    吐出量 ml    吐出.输入流量 ml/s
0.15MPa      0.5～10            0.1～4